岛津X-RAY介绍
采用微焦点X射线发生装置与高灵敏度平板检出器且带有CT功能的X射线检查装置。模式和CT模式之间顺畅的切换操作能够快速完成观察或截面观察。另外，设备采用了可实现*自动化校正与高速CT扫描&重建的（Xslicer）系统。通过没有变形的，放大倍速而且具有高清晰度的图像能够对电子器件等平板形状样品的细微内部结构和缺陷进行观察。
岛津X-RAY
辅助检查的驱动系统
辅助检查的驱动系统
- 高速XYZ载物台
- 通过±180°的旋转·0–60°倾斜结构可迅速到达检查点搭载了焦点X射线发生装置
- 搭载了管电压160KV·1µm分辨率 开放管X射线发生装置。
- 实现了高压发生器一体化，无需进行高压电缆维护。
- 自动调整功能，使更换灯丝更简单。
Xslicer SMX-6000
*的安全性
- 通过屏蔽X射线的防护措施来防止X射线泄露。
- X射线检出器的周围搭载了碰撞感知传感器，当紧急情况发生时（样品快要碰到检出器时）系统停止驱动系统运行。
- 正门锁的设计，可让正门在X射线发射时处于关闭状态。另外，通过互锁设计，当门处于开启状态时能够保证不发射X射线以及驱动系统不运行，从而确保安全。
- 根据样品高度设置软件限位功能可防止样品与平板检出器发生碰撞
