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设计特点 · 热式原理 · 一体化设计 · 满量程从 5sccm 到 1000slpm · 响应时间不超过 2 秒钟 · 操作压力可达 20mpa · 对安装位置不敏感 · 316ss 材质，允许测量腐蚀性气体 · 无直管段安装要求 · 单电源供电 技术参数 流量范围 ：从 0-5sccm 到 0-1000slpm n 2 ，具体请参考表一 响应时间 ： 1 ～ 2 秒 精 度 ： ± 1% 满量程（除 204a 型）； ---------± 1.5% 满量程（ 204a 型） 重 复 性 ： ± 0.2% 满量程 量 程 比 ： 50:1 （ 2%-100% 满量程） 环境和操作温度 ： -10 ～ 70 ℃ zui大操作压力 ： 3000psig （ 20mpa ） ，具体请参考表一 零点漂移： ± 0.05 % 满量程 / ℃ 范围漂移 ： ± 0.05 % 读数 / ℃ 压力漂移 ： 0.1%/atm （相对于 n 2 ） 安装方向 ： 对位置不敏感 预热时间 ： 10 分钟 电气连接 ： 卡式 （ 20 针）或 d 型（ 9 针） 设定点输入流量信号输出 ：0-5vdc/0-5vdc （zui小负载电阻 2k ω ）； -------------------------0-10vdc/0-10vdc （zui小负载电阻 3k ω ）； -------------------------1-5vdc/1-5vdc （zui小负载电阻 2k ω ）； -------------------------4-20ma/4-20ma （请参考下面的说明）； -------------------------1-5vdc/4-20ma （请参考下面的说明） 对于流量信号输出为 4-20ma 的负载电阻： 环路电压为 6.5-15vdc 时： 0-450 ω 环路电压为 15-30vdc 时： 200-750ω 供应电源 ： 电压输出：＋ 12( ± 5 ％ ) （仅适用于 0-5vdc 和 1-5vdc 流量信号输出）或 +15( ± 10 ％ )vdc 电流输出：＋ 15( ± 5 ％ ) 或 +24( ± 15 ％ )vdc 电流消耗：＜ 250madc 重 量 ：请参考表一

结构材质;

主体： 316ss 传感器组件 ： 316lss 孔： 316ss 阀构成部件 （接液）： 302ss ， 316ss ， 430fss ， sandvik?1802 （除 202 、 221 、 222 和 251 型）；302ss ， 316ss ， sandvik?1802 （ 202 、 221 、 222 和 251 型） 密封材质（” o ”型环和阀座）： buna n ， epdm ， kalrez ， neoprene ， viton （除 202a 、 203a 和 204a 型）；buna n ， viton （ 202a 、 203a 和 204a 型） 过程连接： 316ss ----------------------------------表 一

型 号	流量范围 zui小 / zui大 （ n 2 标定）	zui大操作压力psig （ mpa ）	重 量lbs （ kg ）
201	0-5sccm/0-10slpm	1000 （ 6.9 ）	1.2 （ 0.54 ）
202	0-10slpm/0-100slpm	1000 （ 6.9 ）	4.1 （ 1.86 ）
221	0-5sccm/0-10slpm	3000 （ 20.7 ）	4.1 （ 1.86 ）
222	0-10slpm/0-100slpm	3000 （ 20.7 ）	4.1 （ 1.86 ）
251	0-10slpm/0-50slpm	1000 （ 6.9 ）	1.4 （ 0.64 ）
202a	0-10slpm/0-100slpm	200 （ 1.4 ）	5.1 （ 2.31 ）
203a	0-100slpm/0-500slpm	200 （ 1.4 ）	10.9 （ 4.94 ）
204a	0-500slpm/0-100slpm	200 （ 1.4 ）	10.9 （ 4.94 ）

订货时须提供以下信息：

1 、产品型号 2 、电气接口 3 、设定点输入 / 流量信号输出 4 、密封材质（阀座 / “ o ”型环） 5 、接口尺寸和类型 6 、流量范围 7 、介质（气体类型） 8 、工作温度 9 、入口压力 p1 10 、出口压力 p2 11 、标定温度（如 0 ℃ 、 20 ℃、21.1℃、25℃ ） 12 、其它要求