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双频激光干涉仪ZLM700

供应商：
上海贝丁汉工业自动化设备有限公司
企业类型：
经销商

产品简介

德国进口双频激光干涉仪ZLM700，用于机床的定位精度、重复定位精度、位移距离测量、速度加速度测量、线性度、直线度、垂直度、平面度、偏摆角、俯仰角、滚动角、角速度、圆形轨迹、微振动测量，还能够测量数控机床回转台的定位精度和重复定位精度等，从而实现定位、校准、控制和补偿。

详细信息

产品功能
     定位精度、重复定位精度、位移距离测量、速度加速度测量、线性度、直线度、垂直度、平面度、偏摆角、俯仰角、滚动角、角速度、圆形轨迹、微振动测量，还能够测量数控机床回转台的定位精度和重复定位精度等，从而实现定位、校准、控制和补偿。ZLM700主要用于单轴系统的校准和测量，广泛应用于高速动态加工工艺中的机械定位和系统控制。

性能优势

l          真正意义上的双频激光干涉仪，频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”的区别。*双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商，德国耶拿尔公司是其中的一家。
l          全部部件皆在德国生产制造，绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜，是世界上*一家将*的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。
l          测量系统采用模块化设计，各种测量功能之间互不影响。若用户先期只需要干涉仪的部分功能（如仅测量直线度），则仅采购所需功能部分的光学部件（直线度光学镜），其他不需要的功能暂时可以不采购；若后期有其他功能的需求，补充采购功能对应的部件即可。
l          激光器寿命更长，可达20000小时，激光稳频精度高，一小时内为±0.002ppm，在产品寿命内可达±0.02ppm。
l          干涉镜采用差分干涉原理，系统精度更高，可达±0.4ppm。
l          计算机辅助光路调整，调整结果更准确。
l          采样频率更快，zui高达1MHz，可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。
l          被测物体zui大速度16m/s（可选）；采用高精度AE950 PCI数据处理器，分辨率达0.6nm（当移动速度为1m/s时，线性分辨率更可高达为0.1nm）。
l          无加速度限制；当光线微弱时，性能也十分稳定。
l          信号延时<200ns；对电磁干扰不敏感。
l          对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量，请选用ZLM800型双频激光干涉仪，zui多可实现六轴联动。

工作原理
型ZLM700激光干涉仪使用氦氖激光器，采用双频外差式工作模式。激光稳频精度为+/-0.002ppm，640MHz的频差用于信号处理。这种高频处理信号能够对高速物体进行测量，不会出现干扰误差，信号延时时间极短。
采用光纤电缆，把来自干涉镜的信号传输到计算机卡槽连接的电子计数器上，避免了外部电磁环境对测量信号的干扰。因此，ZLM700双频激光干涉仪特别适用于恶劣的生产环境、标准化实验室和高真空环境。

技术参数

型号：ZLM700
使用高性能数据处理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波长：
632.8 nm
激光稳频精度：
一小时2x10-9（±0.002ppm）
寿命内2x10-8（±0.02ppm）
系统精度（0-40℃时）：
±0.4ppm
光束直径：
6mm （可选3.2mm）
激光管突发zui大输出功率：
1mW （激光等级2）
每束光可测量的轴数：
1
线性测量距离：
40m，可扩展为120m
角度测量范围：
± 15°，20m轴线范围
平面度测量范围：
20m行程
直线度测量范围：
± 5mm，2m或10m行程，
选用角度干涉仪可测30m行程
垂直度测量范围：
± 5mm，2m或10m行程，
30m行程需用角度干涉仪
zui大速度：
4m/s，可选16m/s
80rad/s，角速度
zui大加速：
无限制
zui高采样频率：
内部1MHz，外部40MHz
预热时间：
10分钟
精度/非线性：
±0.3nm （角隅反射镜）
±0.1nm （平面反射镜）
距离测量分辨率：
0.6nm （角隅反射镜）
0.3nm （平面反射镜）
0.1nm 可选
距离测量精度：
（20°±0.5°） 使用AUK时
（20°±0.5°） 真空中时
 
±0.4ppm （μ/m）
±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
线性度测量分辨率：
0.6nm （角隅反射镜）
0.3nm （平面反射镜）
0.1nm 可选
线性度测量精度：
（20°±0.5°） 使用AUK时
（20°±0.5°） 真空中时
 
±0.4ppm （μ/m）
±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
速度测量精度：
±0.5ppm实测值
角度测量分辨率：
0.015μrad （3x10-3 弧秒）
角度测量精度：
±0.1ppm实测值
平面度测量分辨率：
0.015μrad （3x10-3 弧秒）
平面度测量精度：
±0.2%实测值
±0.05 弧度/米运行距离
直线度测量分辨率：
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
直线度测量精度：
±0.5%实测值，2m行程
± 2.5%实测值，10m行程
垂直度测量分辨率：
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
垂直度测量精度：
±0.5%实测值2m，± 0.5弧秒*
±2.5%实测值10m，± 0.5弧秒*
数据接口：
积分信号
32 Bit （实时时间）
Dt » 20 ns
数据分析标准：
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作环境：
温度：15°C-30°C
湿度：<90%无冷凝
储存环境：
温度：10°C-40°C
湿度：<95%无冷凝

 

应用光路图


以上为直线度测量示意图，包括水平方向直线度和垂直方向直线度


以上是平面度测量示意图


以上是垂直度测量示意图

 
以上是位移、线性度、速度、加速度、定位精度测量示意图


以上是对角测量示意图

 
以上是俯仰角测量示意图


以上是偏摆角测量示意图


以上是滚动角测量示意图


以上是回转台定位精度测量示意图

资料下载
耶拿尔双频激光干涉仪样本（中文）.pdf
激光干涉仪说明书（中文）.pdf