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伯东公司代理等离子刻蚀机 RIE/ICP

供应商：
伯东企业上海有限公司北京办事处
企业类型：
经销商

产品简介

伯东公司代理美国真空设备包括等离子增强化学汽相沉积系统PECVD、电子束蒸发台/热阻蒸发台E-beam/Thermal Evaporator、等离子刻蚀机 RIE/ICP、磁控溅射系统 Sputter、脉冲激光沉积/激光分子束外延 PLD/Laser-MBE。

详细信息

伯东公司代理美国真空设备包括等离子增强化学汽相沉积系统PECVD、电子束蒸发台/热阻蒸发台E-beam/Thermal Evaporator、等离子刻蚀机 RIE/ICP、磁控溅射系统 Sputter、脉冲激光沉积/激光分子束外延 PLD/Laser-MBE。

 

等离子刻蚀机 RIE/ICP 产品特色：腔室温度控制范围：室温~60℃、适用于zui大8”样品及更小样品、本底真空<9×10-5 Torr、可选配Loadlock、刻蚀样品陡直度：可达89°

 

应用领域：适用于各种金属、Si、SiO2、SiN、GaAs、GaN等II-VI族和III-V族材料的刻蚀