真空镀膜机PVD12512
产品简介
1. 极限真空度:5.0x10-4Pa;
2. 工作真空度:6.67x10-3Pa;
3. 抽速:从大气抽至6.67x10-3Pa,<9分钟;
4. 压升率:0.45Pa/小时;
5. 自转轴中心距:156mm;
6. 工位:18个(工件架Z大自转半径为130mm);
7. 电气控制系统:PLC全自动控制,可动行多种工艺设置;
详细信息
主要技术参数:
1. 极限真空度:5.0x10-4Pa;
2. 工作真空度:6.67x10-3Pa;
3. 抽速:从大气抽至6.67x10-3Pa,<9分钟;
4. 压升率:0.45Pa/小时;
5. 自转轴中心距:156mm;
6. 工位:18个(工件架zui大自转半径为130mm);
7. 电气控制系统:PLC全自动控制,可动行多种工艺设置;
详情请登陆公司 www.vleadvac.com 或 咨询