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FCS系列气体流量控制器是基于MCS51系列单片机配合外围控制部件，通过对三路或四路气体质量流量计的控制，实现镀膜机充气系统全自动运行。本机可由用户编程设定，对反应气体随镀膜时间变化进行增减量控制。同时本机支持RS485或RS232通讯控制，支持开关量外部控制，也可连接上位控制机实现远程控制。