双频激光干涉仪ZLM700
产品简介
详细信息
在德国,耶拿地区以生产蔡司光学产品而闻名。位于该地区的耶拿尔(JENAer)公司生产的ZLM700双频激光干涉仪在同类产品中,由于具有*的性能优势和简单的操作方法而久负盛名。由本公司代理,德国耶拿尔JENAer公司生产的双频激光干涉仪是真正意义上的双频干涉仪,并非单频干涉原理。 产品功能 定位精度、重复定位精度、位移距离测量、速度加速度测量、线性度、直线度、垂直度、平面度、偏摆角、俯仰角、滚动角、角速度、圆形轨迹、微振动测量,还能够测量数控机床回转台的定位精度和重复定位精度等,从而实现定位、校准、控制和补偿。ZLM700主要用于单轴系统的校准和测量,广泛应用于高速动态加工工艺中的机械定位和系统控制。 性能优势 l 真正意义上的双频激光干涉仪,频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”的区别。*双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商,德国耶拿尔公司是其中的一家。 l 全部部件皆在德国生产制造,绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜,是世界上*一家将*的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。 l 测量系统采用模块化设计,各种测量功能之间互不影响。若用户先期只需要干涉仪的部分功能(如仅测量直线度),则仅采购所需功能部分的光学部件(直线度光学镜),其他不需要的功能暂时可以不采购;若后期有其他功能的需求,补充采购功能对应的部件即可。 l 激光器寿命更长,可达20000小时,激光稳频精度高,一小时内为±0.002ppm,在产品寿命内可达±0.02ppm。 l 干涉镜采用差分干涉原理,系统精度更高,可达±0.4ppm。 l 计算机辅助光路调整,调整结果更准确。 l 采样频率更快,zui高达1MHz,可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。 l 被测物体zui大速度16m/s(可选);采用高精度AE950 PCI数据处理器,分辨率达0.6nm(当移动速度为1m/s时,线性分辨率更可高达为0.1nm)。 l 无加速度限制;当光线微弱时,性能也十分稳定。 l 信号延时<200ns;对电磁干扰不敏感。 l 对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量,请选用ZLM800型双频激光干涉仪,zui多可实现六轴联动。 工作原理 型ZLM700激光干涉仪使用氦氖激光器,采用双频外差式工作模式。激光稳频精度为+/-0.002ppm,640MHz的频差用于信号处理。这种高频处理信号能够对高速物体进行测量,不会出现干扰误差,信号延时时间极短。 采用光纤电缆,把来自干涉镜的信号传输到计算机卡槽连接的电子计数器上,避免了外部电磁环境对测量信号的干扰。因此,ZLM700双频激光干涉仪特别适用于恶劣的生产环境、标准化实验室和高真空环境。 技术参数
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应用光路图
以上为直线度测量示意图,包括水平方向直线度和垂直方向直线度
以上是平面度测量示意图
以上是垂直度测量示意图
以上是位移、线性度、速度、加速度、定位精度测量示意图
以上是对角测量示意图
以上是俯仰角测量示意图
以上是偏摆角测量示意图
以上是滚动角测量示意图
以上是回转台定位精度测量示意图
资料下载
耶拿尔双频激光干涉仪样本(中文).pdf
激光干涉仪说明书(中文).pdf