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双频激光干涉仪ZLM700

供应商:
上海贝丁汉工业自动化设备有限公司
企业类型:
经销商

产品简介

双频激光干涉仪ZLM700是德国Jenaer公司生产的新一代激光干涉仪。广泛应用于独立校准系统、多轴定位系统,及快速动力学的全部控制系统。

详细信息

 
在德国,耶拿地区以生产蔡司光学产品而闻名。位于该地区的耶拿尔(JENAer)公司生产的ZLM700双频激光干涉仪在同类产品中,由于具有*的性能优势和简单的操作方法而久负盛名。由本公司代理,德国耶拿尔JENAer公司生产的双频激光干涉仪是真正意义上的双频干涉仪,并非单频干涉原理。

产品功能
     定位精度、重复定位精度、位移距离测量、速度加速度测量、线性度、直线度、垂直度、平面度、偏摆角、俯仰角、滚动角、角速度、圆形轨迹、微振动测量,还能够测量数控机床回转台的定位精度和重复定位精度等,从而实现定位、校准、控制和补偿。ZLM700主要用于单轴系统的校准和测量,广泛应用于高速动态加工工艺中的机械定位和系统控制。

性能优势
l          真正意义上的双频激光干涉仪,频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”的区别。*双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商,德国耶拿尔公司是其中的一家。
l          全部部件皆在德国生产制造,绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜,是世界上*一家将*的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。
l          测量系统采用模块化设计,各种测量功能之间互不影响。若用户先期只需要干涉仪的部分功能(如仅测量直线度),则仅采购所需功能部分的光学部件(直线度光学镜),其他不需要的功能暂时可以不采购;若后期有其他功能的需求,补充采购功能对应的部件即可。
l          激光器寿命更长,可达20000小时,激光稳频精度高,一小时内为±0.002ppm,在产品寿命内可达±0.02ppm
l          干涉镜采用差分干涉原理,系统精度更高,可达±0.4ppm
l          计算机辅助光路调整,调整结果更准确。
l          采样频率更快,zui高达1MHz,可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。
l          被测物体zui大速度16m/s(可选);采用高精度AE950 PCI数据处理器,分辨率达0.6nm(当移动速度为1m/s时,线性分辨率更可高达为0.1nm)。
l          无加速度限制;当光线微弱时,性能也十分稳定。
l          信号延时<200ns;对电磁干扰不敏感。
l          对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量,请选用ZLM800型双频激光干涉仪,zui多可实现六轴联动

工作原理
ZLM700激光干涉仪使用氦氖激光器,采用双频外差式工作模式。激光稳频精度为+/-0.002ppm640MHz的频差用于信号处理。这种高频处理信号能够对高速物体进行测量,不会出现干扰误差,信号延时时间极短。
采用光纤电缆,把来自干涉镜的信号传输到计算机卡槽连接的电子计数器上,避免了外部电磁环境对测量信号的干扰。因此,ZLM700双频激光干涉仪特别适用于恶劣的生产环境、标准化实验室和高真空环境。

技术参数

型号:ZLM700
使用高性能数据处理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波长:
632.8 nm
激光稳频精度:
一小时2x10-9±0.002ppm
寿命内2x10-8±0.02ppm
系统精度(0-40℃时):
±0.4ppm
光束直径:
6mm可选3.2mm
激光管突发zui大输出功率:
1mW (激光等级2)
每束光可测量的轴数:
1
线性测量距离:
40m,可扩展为120m
角度测量范围:
± 15°20m轴线范围
平面度测量范围:
20m行程
直线度测量范围:
± 5mm2m10m行程,
选用角度干涉仪可测30m行程
垂直度测量范围:
± 5mm2m10m行程,
30m行程需用角度干涉仪
zui大速度:
4m/s可选16m/s
80rad/s,角速度
zui大加速:
无限制
zui高采样频率:
内部1MHz,外部40MHz
预热时间:
10分钟
精度/非线性:
±0.3nm (角隅反射镜
±0.1nm (平面反射镜
距离测量分辨率:
0.6nm (角隅反射镜
0.3nm (平面反射镜
0.1nm 可选
距离测量精度:
(20°±0.5°) 使用AUK
(20°±0.5°) 真空中时
 
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
线性度测量分辨率:
0.6nm (角隅反射镜
0.3nm (平面反射镜
0.1nm 可选
线性度测量精度:
(20°±0.5°) 使用AUK
(20°±0.5°) 真空中时
 
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
速度测量精度:
±0.5ppm实测值
角度测量分辨率:
0.015μrad (3x10-3 弧秒
角度测量精度:
±0.1ppm实测值
平面度测量分辨率:
0.015μrad (3x10-3 弧秒
平面度测量精度:
±0.2%实测值
±0.05 弧度/米运行距离
直线度测量分辨率:
36nm10m行程
7.25nm2m行程
直线度测量精度:
±0.5%实测值,2m行程
± 2.5%实测值,10m行程
垂直度测量分辨率:
36nm10m行程
7.25nm2m行程
垂直度测量精度:
±0.5%实测值2m± 0.5弧秒*
±2.5%实测值10m± 0.5弧秒*
数据接口:
积分信号
32 Bit (
实时时间
Dt » 20 ns
数据分析标准:
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作环境:
温度:15°C-30°C
湿度:<90%无冷凝
储存环境:
温度:10°C-40°C
湿度:<95%无冷凝

 

应用光路图


以上为直线度测量示意图,包括水平方向直线度和垂直方向直线度


以上是平面度测量示意图


以上是垂直度测量示意图

 
以上是位移、线性度、速度、加速度、定位精度测量示意图


以上是对角测量示意图

 
以上是俯仰角测量示意图


以上是偏摆角测量示意图


以上是滚动角测量示意图


以上是回转台定位精度测量示意图

资料下载
耶拿尔双频激光干涉仪样本(中文).pdf
激光干涉仪说明书(中文).pdf