微振动检测激光干涉仪 ZLM900
产品简介
详细信息
微振动检测激光干涉仪 ZLM900-3D
世界范围内,同类产品中效率zui高的干涉仪。
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JENAer测量技术公司生产的双频激光干涉仪,是世界上*一家将*的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的制造商。该公司的双频激光干涉仪,不仅能够精确的测量数控机床的几何量,如线性度、直线度、垂直度、角度、平面度等,还能够测量数控机床的回转量等。多轴干涉仪仪更可测量和检测物体的微位移、摆动振动情况、工作台的运动情况等。更多信息垂询!
上图为一个具体的3-轴干涉镜和3-轴反射镜系统,光束由激光头发出后进入干涉镜,3-轴干涉镜把输入的光束分为三个部分:
信号光束1用于位移的测量,信号光束2用于俯仰角的测量,信号光束三用于偏摆角的测量。
所有的光束照射到被测物体(3-轴反射镜固定在被测物体上)后再次反射到干涉镜上,每个信号光束与反射的光束进行干涉,然后干涉光束传输到激光头里,进行信号分析后进入到软件里。
三轴测量软件(位移、偏摆和俯仰角) | 三角关系的设定 |
测量结果的统计 | 在位置5开始测量 |
位移和角度的*测量 | ISO230数据统计标准 |
由本公司代理,德国耶拿尔