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日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵特长

● NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。

● 低噪音、低振动

● 优良的耐腐蚀性

标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。

● 选购件

可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。

日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵用途

◆ 活性气体（CVD、刻蚀等）

◆ 排出非活性气体（溅射镀膜、蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）

◆ 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）

◆ 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）

◆ 冷冻干燥等水蒸气排气