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ULVAC机工的GLD系列，具有低振动，低噪音及以下优良性能：
1.气镇阀能防止蒸汽（例如水蒸汽）凝缩在泵油内。
2.强制给油机构能保证从大气到高真空的整个排气过程中，保持油润滑和内部密封。
3.逆流防止装置在断电时能保护真空箱。低温确保了真空泵创造良好的真空度。强制的油过滤器可滤出泵油的杂质，通过大型刻度易读的油量计，可以随时检查泵油的状况。
使用指导
为了zui大限度的发挥真空泵的*性能，应注意以下几点：
1.GLD系列可适用于广泛领域，能获得极低的真空（10-2Pa），配置KF法兰可获得高真空。为发挥zui大性能请使用高真空法兰。
2.GLD系列并不适用于有毒或腐蚀性气体。（请选择GCD系列:p.10）
3.油旋片真空泵并不适用于在大气压附近连续运转。
日本ULVAC GLD-051直联型油旋片式真空泵应用
1.科学与化学试验，分析装置，镭射相关装置。
2.电子显微镜的前级泵系统。
3.半导体生产系统，溅射系统，真空涂层系统。
4.真空干燥系统，冷冻干燥系统。

 技术参数：