YG-1206I-CVD 上海煜志CVD系统管式炉
产品简介
详细信息
主要功能和特点：
1、上海煜志CVD系统管式炉，高真空系统由双级旋片真空泵和分子泵组成，zui高真空可达0.0001Pa；
2、上海煜志CVD系统管式炉，可配合压强控制仪控制气体压力，实现负压的精准控制；
3、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；
4、，每条气体管路均配备高压逆止阀，保证系统的安全性和连续均匀性；
5、采用KF快速法兰密封，装卸方便快捷；
6、管路采用世界*Swagelok卡套连接，不漏气；
7、超温、过压时，自动切断加热电源及流量计进气，使用安全可靠。
主要技术参数：
YG-1206管式实验电炉 | 控温方式 | 采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，并可编制30段升降温程序。 |
加热元件 | 0Cr27Al7Mo2 | |
工作电源 | AC220V 50Hz/60Hz | |
额定功率 | 4kw | |
炉管材质 | 高纯石英管 | |
炉管尺寸 | Φ60/Φ80/Φ100*1000mm | |
工作温度 | ≤1150℃ | |
zui高温度 | 1200℃ | |
恒温精度 | ±1℃ | |
恒温区 | 200mm | |
升温速度 | ≤10℃/min | |
密封方式 | 不锈钢快速法兰挤压密封 | |
ZK-F 分子泵真空系统 | 真空范围 | 0.1-0.001Pa |
极限真空 | 4.0*10^-4Pa | |
产品配置 | 双级旋片真空泵+分子泵 | |
测量方式 | 复合真空计 | |
真空规管 | 电阻规+电离规 | |
冷却方式 | 风冷 | |
工作电源 | AC220V 50/60HZ | |
抽速 | 110L/S | |
ZDFC-Ⅲ 压强控制系统 | 测量范围 | 5～1*10^-5 Pa |
稳压(真空)范围 | 1～5*10^-3Pa | |
压力(真空)稳定精度） | ±3% | |
控制范围 | 2.5*10^3～1*10^-4 Pa | |
控制精度 | ± 1% | |
HQZ-Ⅲ 混气系统 | 控制方式 | D07-7K质量流量计,D08流量显示仪 |
流量规格 | 0－500SCCM /0－1SLM,（可根据客户需要配置） | |
线性 | ±1%F.S | |
准确度 | ±1%F.S | |
重复精度 | ±0.2%F.S. | |
响应时间 | ≤2sec | |
耐压 | 3MPa | |
气路通道 | 3通道（根据客户需求） | |
针阀 | 316不锈钢 | |
管道 | Φ6mm不锈钢管 | |
接口 | SwagelokΦ6mm |