多晶炉波纹管
产品简介
隔热框架升降结构通过提升基架安装在设备炉体上部,主要有伺服电机产生驱动力,减速机变速,通过齿轮箱动力转向,软轴连轴器传动,直线导轨连接件高精度 升降波纹管。这样使得提升杆的运动变成在真空内部的运动,从而将动密封转变为简单的静密封,提高了密封的可靠性、安全性、稳定性,真空保护性好,保证压升率指标,提高硅锭的质量。
详细信息
技术指标:
1、真空漏率:1* 10-13Pa·L/S;
2、压缩比:80%;
3、使用寿命:100万次;
4、材质:SUS 316L。
用 途:主要用于晶体生长炉。
名称:合肥鑫波焊接波纹管有限公司
地址:合肥市高新区柏堰科技实业园D6
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