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1.二探针单晶硅及多晶硅测试仪HHY8-GL-1

二探针单晶硅及多晶硅测试仪HHY8-GL-1本仪器主要用于测量大直径的单晶硅和多晶硅的电阻率分布情况，以便硅材料的切割和加工。

    为适应大规模集成电路的迅猛发展，特别是计算机芯片、内存的发展，越来越多的使用到了大直径、高纯度、均匀度更高的单晶硅材料。目前，在美国、德国等*的工业国家，均采用了二探针法，使用二探针检测仪来测量大直径单晶硅的电阻率分布情况。

仪器符合美国ASTM 《“F391-77”关于二探针测量硅单晶试验方法》的标准，是一种新型的半导体电阻率测试仪，适合半导体材料厂和器件厂用于二探针法精确测量单晶硅和多晶硅半导体棒状材料的体电阻率，从而进一步判断半导体材料的性能，指导和工艺操作，也可以用来测量金属材料的电阻，仪器具有测量精度高、稳定性好、结构紧凑、使用方便、造型美观等特点。也可以配四探针测试头作常规的四探针法测量硅晶体材料。

    仪器分为仪表电气控制箱、测试台、探头三部分，仪表电气控制箱由高灵敏度直流数字电压表、高抗干扰高隔离性能的电源变换装置、高稳定高精度恒流源和电气控制部分组成。测量结果由大型LED数字显示，零位稳定、输入阻抗高，并设有自校功能。在棒状材料使用二探针法测试时，具有系数修正功能，从面板输入相应的修正系数，可以直接读出电阻率，使用方便。测试台结构新颖，造型美观，可以方便地固定好大小任意尺寸的样品，并可以作逐点选择步进测量，也可以自由选择固定位置测量，电极活动自如，具备锁定装置，方便重复测量。另外还配置了二处记录板和转椅，测试探头能自动升降，探针为碳化钨材料，配置宝石轴承，具有测量精度高、游移率小、耐磨、使用寿命长特点。同时探头压力恒定并且可调整，以适合不同的材料。

仪器主要技术指标：

1.可测硅材料尺寸：

     直径Φ25~Φ150mm满足ASTM F-397的技术要求。

     长度：100~1100mm.

2.测量方式：轴向测量，每隔10mm测量一点。

3.测量电阻率范围：10^-3~10³Ω-cm,可扩展到10⁵Ω-cm。

4.数字电压表：

    （1）量    程：0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V

    （2）测量误差：±0.3%读数±2字

    （3）输入阻抗：0.2mV和2mV档>10⁶Ω

                  20mV档及以上>10⁸Ω

    （4）显    示：3^1/2位LED数字显示，范围0~1999。

5.恒流源：

    （1）电流输出：直流电流0~100mA连续可调。

    （2）量    程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

    （3）电流误差：±0.3%读数±2字

6.二探针测试装置：

    （1）探针间距：4.77mm

    （2）探针机械游移率：0.3%

    （3）探针压力：0~2kg可调

    （4）测试探头自动升降

7.二探针测试台

    （1）测试硅单长度：100-1100mm

    （2）测试点间距：10mm

    （3）测试台有慢、快二种移动速度，快速移动速度为1000mm/分（均匀

手动）

8.电源：交流220V±10%，50HZ±2HZ，消耗功率<150W

2.数字式四探针测试仪HHY8-SZT-2000

HHY8-SZT-2000型数字式四探针测试仪是根据四探针测试原理研究成功的多用途的综合测量装置，它可以测量棒状、块状

半导体材料的电阻率和半导体扩散层的薄层电阻进行测量，可以从10^-6--10⁵Ω—cm全量程范围检测硅的片状、棒状材料的电阻、薄层电阻，是硅材料质量监测的必需仪器。

仪器为台式结构，分为电气箱、测试架两大部分，用户可以根据测试需要安放在一般工作台或者工作台上，测试架由探头及压力传动机构、样品架组成，耐磨和使用寿命长的特点。探头内设有弹簧压力装置，压力从0—2Kg连续可调，测试架设有手动和电动两种装置供用户选购。

仪器电气箱主要由高灵敏的直流数字电压表和高稳定的恒流源组成，测量结果由数字直接显示，仪器有自校量程，可以方便地对仪器的电气性能进行校验。

仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、测量范围广、结构紧凑、使用方便等特点，仪器适用于半导体材料厂、器件厂、科学研究部门、高等院校，对半导体材料的电阻性能测试及工艺检测。

仪器主要技术指标：

1．  范围：电阻率10^-4—10³Ω—cm，可扩展至10⁵Ω—cm，分辩率为10^-6Ω—cm

         方块电阻10^-3—10³Ω /□

         电阻10^-6—10⁵Ω

2．  可测半导体尺寸：直径Φ15—150mm

3．  测量方式：轴向、断面均可（手动测试架）

4．  数字电压表（1）量程0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V

  (2)测量误差 0.2mV档±（0.3%读数+8字）

              2 mV档以上±（0.3%读数+2字）

  (3)输入阻抗0.2mV、2mV挡10⁵Ω

              20mV档以上>10⁸Ω

  (4)显示3 1/2位数字显示，0—1999

具有极性和过载自动显示，小数点、单位自动显示

5．  恒流源：（1）电流输出：直流电流0—100mA连续可调，由交流电源供给

   （2）量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 五档

   （3）电流误差：±（0.3%读数+2字）

6．四探针测试探头  （1）探头间距：1mm   (2)探针机械游率：±0.3%

                   (3) 探针：Φ0.5mm    (4)压力：可调

  7. 测试架：

  （1）手动测试架：探头上升及下降由手动操作，可以用作轴向和断面的单晶棒和硅片测试。

  （2）电动测试架：探头的上升和下降由电动操作，设有自动控制器控制，探头上升时间1S—99S可调，探头下降时间1S—99S可调，压力恒定可调（由砝码来设定）同时设有脚踏控制装置由脚踏开关控制探头上下运动。

   8.电流：220V±10% 50HZ或60HZ：功率消耗<35W

9．    外形尺寸：电气箱130×110×400mm

3.半导体电阻率测试仪HHY8-BD-86A

HHY8-BD-86A型半导体电阻率测试仪是我厂推出的的普及型半导体电阻率测试仪器，本仪器是根据四探针原理，适合半导体器材厂，材料厂用于测量半导体材料（片状、棒状）的体电阻率，方块电阻（簿层电阻），也可以用作测量金属薄层电阻，经过对用户、半导体厂测试的调查，根据美国ASTM标准的规定，在电路和探头方面作了重大的修改和技术上的许多突破，它更适合于半导体器材厂工艺检测方面对中值、高阻硅、锗材料方块电阻和体电阻率的测量需要，成为普及型的电阻率测试仪，具有测量精度高，稳定性好，输入阻抗高，使用方便、价格低廉等特点。

   仪器主要技术指标：

1．  测量范围：电阻率10^-3—10³Ω-cm，分辩率为 10^-4Ω-cm ，可扩展到10⁵Ω-cm

  方块电阻10^-2—10⁴Ω/□，分辩率为10^-3Ω/□，可扩展到10⁶Ω/□

薄层金属电阻10^-4—10⁵Ω，分辩率为10^-4Ω

2.可测半导体材料尺寸：直径Φ15—Φ125mm；  长度：150mm(可扩展500mm)

     3.测量方式：轴向、断面均可

4．数字电压表：（1）量程：20mV(分辩率：10μV)、200mV、2V

             （2）测量误差：±0.3%读数±1字

             （3）输入阻抗：大于10⁸Ω

             （4）显示3 1/2 位红色发光二极管（LED）数字显示

                  0---1999具有极性、过载、小数点、单位自动显示

5．恒流源：由交流供电，具有良好的防泄漏隔离功能

（1）       直流电流：0—100mA连续可调

（2）       量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

（3）       分辩率：10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA

（4）       电流误差：±0.3%读数±2字

6．电性能模拟考核误差：<±0.3%符合ASTM指标

7．测试探头：（1）探针机械游移率：± 0.3% 符合ASTM 指标

8．电源：交流220V±10%   50HZ或60HZ  功率消耗< 30W

9．电气箱外形尺寸：119×440×320mm

4.半导体粉末电阻率测试仪HHY8-FZ-2006

本仪器是为了适应当前迅速发展中的高分子半导电纳米材料电阻率测试需要,参照有关标准设计的。 仪器的电流输出为 10 µA - 100 mA ，电阻率测试范围为 10 ^-2 - 10 ⁵ Ω cm ，直接采用数字显示。仪器的可靠性和

稳定性大大增强，更方便于用户， 而且价格低廉、实惠。配置不同的测试架可以对半导体粉末、高分子纳米粉末和固态金属进行电阻、电阻率多用途的测量。

适用于有机、无机半导体粉末材料(包括纳米级)的电阻率测量, 也可以测量固体半导体材料，特别适合于太阳能多晶硅、硅粉质量的测量、分选和质量控制. 电阻率值直接数字显示由具有高精度加压系统, 高度测量的测试台和仪器组成.

仪器主要包括电气箱和测试架两部分，电气测试部分由高精度直流数字电压表和直流恒定电流源组成。测试架为压力传感器， 加压机构和粉末标准容器组成。压力机构采用手动操作、压力平稳。本仪器具有测量精度高，稳定性好，重复性好，使用方便等特点， 并有自校功能。

本仪器采用通用的电流-电压降法即四端子测量法，可以消除电极与粉末接触产生的接触电阻误差，还可以消除联接系统所带来的误差， 克服了以往传统的二端测量粉末电阻率仪器的弊病，真实、准确地测量出粉末样品的电阻率，因此重复性好。

本仪器适用于碳素厂、焦化厂、石化厂、粉末冶金厂、高等院校、科研部门、是检验和分析固态、粉态和纳米样品质量的一种重要工具。

技术参数；

1. 测量范围：< >电阻 10^-4 - 10⁵ Ω, 分辨率 10^-4 Ω电阻率 10^-4 - 10⁵ Ω.cm，分辨率 10^-4 Ω.cm测量误差 ±（0.3% 读数 + 2 字）
2. 测量电压量程：20mV, 200mV, 2V，分辨率 10 µV
   测量精度: ±（0.3% 读数 + 2 字）
3. 测量电流：0 - 100 mA 连续可调，
   电流量程：10 µA, 100 µA, 1 mA, 10 mA, 100mA
4. 试样粒度：40 目以下 - 60 目以上（标准筛网）纳米粉末
5. 试样容器：内腔Φ16.30 ± 0.1mm
6. 试样高度：16mm ± 0.5mm 
   测量误差：±0.1mm
7. 取样压力：4 Mpa ± 0.05 Mpa ( 40 kg/cm² ± 0.5 kg/cm²)
   压力量程：0 - 100 kg 可调
8. 显示方式: 电阻、电阻率、压力为 3 1/2 数字显示,并自动显示单位和小数点
9. 电源：220 ± 10% , 50HZ-60HZ, 功率消耗 < 150W 消耗
10. 外形尺寸电气箱：440mm×120mm×320mm
11. 备有粉末测试架和固态标准样品测试台供选用

5.微型高速*粉碎机HB-WWFS-Ⅱ

该机可用于破碎煤炭、焦炭、矿物质、土壤、砂、石和植物种子。适用于煤炭、焦化

、地质、医药卫生、农业、工业的科研单位和化验制样室制取少量试样用。

二、主要技术指标

转子转速：210000r/min

入料粒度：-6mm

出料粒度：≤60-120

每次入料量：≤50g

粉碎时间：3-5秒

电源：220V 50HZ

三、该产品特点

1、转速高：≥10000转/分

2、效率高：50g物料仅需要3-5秒便可完成粉碎，即简便又快速。

3、密封性好；工作中没有被粉碎的物料泄漏，使工作环境保持清洁。

4、性能稳定：可连续工作，使用寿命长。