VCVD-C 碳材料热工装备 *立式化学气相沉积炉（沉积炭）|ACME顶立科技
产品简介
详细信息
碳材料热工装备 *立式化学气相沉积炉（沉积炭）|ACME顶立科技 技术特征
根据炉膛尺寸与结构设置温区，温度均匀性好；
采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效的处理。
碳材料热工装备 *立式化学气相沉积炉（沉积炭）|ACME顶立科技 主要配置
炉门：丝杠升降/液压升降/手动升降；手动锁紧/自动锁圈锁紧
炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC
加热器、马弗：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产
真空泵和真空计：进口/国产
人机界面：模拟屏/触摸屏/工控机
PLC：欧姆龙/西门子
控温仪表：日本岛电/英国欧陆
热电偶：C分度号/S分度号/K分度号/N分度号
记录仪：无纸记录仪/有纸记录仪；进口/国产
电器元件：正泰/施耐德/西门子
产品规格
参数\\型号 Spec.\\Model | VCVD-0305-C | VCVD-0608-C | VCVD-0812-C | VCVD-1015-C | VCVD-1120-C | VCVD-1520-C | VCVD-2632C |
工作区尺寸D×H（mm） | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 | Φ1100×2000 | Φ1500×2000 | Φ2600×3200 |
zui高温度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
温度均匀性（℃） | ±5 | ±5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±15 |
极限真空度（Pa） | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
压升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
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