美国*XD Laser 6D激光干涉仪
产品简介
XD6 XD6LS 激光干涉仪提供机床21项参数误差高效校准，实测工作效率提升5倍！XD6 XD6LS Laser激光干涉仪采用集成式设计，外形灵活小巧，可直接安装在机床工作台上。快速安装、设置，一人即可轻松完成操作。有1/3/5/6D多种配置可选，其中，6D型号更可一次测量6个参数（包括x、y、z、偏摆角、俯仰角、滚动角）
详细信息
笃挚仪器代理供应“美国*XD Laser 6D激光干涉仪”，包括1D、3D、5D/6D等，笃挚仪器（上海）有限公司以“优质成就价值——Focus On Better Quality”为宗旨，专注于计量检测和材料分析设备的研究、引进与推广，公司以深厚的工程技术背景和高效率的资源整合帮助企业在原始设计、开发周期、产品质量、在役检测等各方面显着提升效率和可靠性。
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该仪器体积小，重量轻，可以直接安装到机床导轨上。XD Laser 6D激光干涉仪主要由稳频激光器、干涉镜和6D传感器组成，从激光器发出的激光光束经过干涉后，被6D传感器内的分光镜分成三束，-束光经锥角反射棱镜反射后返回干涉仪与参考光束相干涉产生干涉条纹.经光学相位探测器识别后进行电子计数，记录精确长度位置。第二束光作直线度测量的参考光束，传感器与参考光東之间的相对位移由装载传感器内的横向光电二极管测得。第三束光用作装在6D传感器内的小型光电测角仪的参考光源，用来测量角度误差(俯仰角和偏摆角)。
激光干涉仪介绍：
1D激光主要可以测量定位误差
3D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)
5D/6D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)、偏摆角、俯仰角和滚动角
5D/6D标准型技术参数：
1. 线性.........................0.5ppm .
2. 测量范围.........................40米(1D可选80米)
3. 线性分辨力.........................0.001um.
4. 偏摆角和俯仰角的精度.........................(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值
5. *大范围.........................800角秒
6. 滚动角精度.........................1.0角秒
7. 直线度精度.........................(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值
8. 直线度*大范围.........................500um
9. 垂直度精度.........................1角秒
10. 温度精度.........................0.2摄氏度
11.湿度精度.........................5%
12.压力精度.........................1mmHg