HSR2iX系列 电镜磁场消除系统（主动消磁器）
产品简介
详细信息
产品概述：
HSR2iX系列电镜磁场消除系统（主动消磁器）通过动态创建几乎相等且方向相反的磁场来稳定电子束相关的设备周围的环境磁场，改善各种电子束、离子束设备周围恶劣的磁场环境，保障设备使用的磁场环境要求。
HSR2iX系列电镜磁场消除系统（主动消磁器）由磁传感器感知单元、磁场发生单元、磁场控制单元、显控单元等构成。综合了低噪声磁敏感技术、消磁线圈优化设计技术、磁场自动控制技术，实现了对宽频带杂散磁场的自动跟踪补偿，达到稳定磁场的目的。
根据具体用途，HSR2iX系列磁场消除系统具有三种不同型号：HSR2i01、HSR2i02和HSR2i03。（特殊情况可定制）
工作原理：
通过三分量磁场传感器实现杂散磁场的感知，并将感知到的信号送入智能磁场控制单元；智能磁场控制单元实时产生一个电流信号，该电流通过磁场产生单元产生与杂散磁场方向相反、大小相等的磁场，在工作区实现了磁场的叠加从而得到稳定的磁场环境。
技术参数：
型号 | HSR2i01 | HSR2i02 | HSR2i03 |
用途 | 消除所有类型电子显微镜的交流磁场 | 消除所有类型电子显微镜的交流和直流磁场 | 消除半导体洁净室中CDSEM工具的12kHz磁场。也可以消除这些工具的交流和直流磁场 |
消磁线圈 | 干扰磁场消除绕组 系统自检绕组 | 固有地磁场消除绕组 干扰磁场消除绕组 系统自检绕组 | 固有地磁场消除绕组 干扰磁场消除绕组 系统自检绕组 |
待消除磁场 | X, Y, Z磁场 | X, Y, Z磁场 | X, Y, Z磁场 |
磁场测量类型 | AC RMS and pk-pk | Real time field AC RMS and pk-pk DC incremental | Real time field AC RMS and pk-pk DC incremental |
测量精度 | ±0.5% Reading ± 100pT | ±0.5% Reading ± 1 nT | ±0.5% Reading ± 1 nT |
磁场动态范围 | ≤60 mG（6.0 µT） | ≤4.8 μT pk-pk | 5 μT pk-pk |
频率带宽 | 2.5 Hz至3kHz | DC至5 kHz | DC至12 kHz |
噪声限值 | <0.7nT RMS(0.1 Hz ～ 3 kHz) | 1.5nTRMS(0.1Hz ～ 5 kHz) | 0.5 nT RMS(0.1 Hz ～ 12 kHz) |
直流漂移 | N/A | < 2 nT/ 24 hours | < 2 nT/ 24 hours |
直流磁场限值 | N/A | ± 200 μT max | ± 200 μT max |
系统响应时间 | 10 µs内 | 10 µs内 | 2 µs内 |
磁场稳定性 | <2 nT/24 h@（20℃~25℃，预热0.5 h） | <2nT/24h@（20℃~25℃，预热0.5 h） | <2nT/24 h@（20℃~25℃，预热0.5 h） |
衰减系数 | >50 dB @0.1 Hz >30 dB @50 Hz | >60 dB @0.1 Hz >40 dB @50 Hz >20 dB @5 kHz | >60 dB @0.1 Hz >40 dB @50 Hz >20 dB @10 kHz |
产品应用：
1. 生命科学领域的冷冻电镜
2. 材料科学领域的扫描电镜
3. 化工领域中的原理分析用电镜
4. 半导体工艺中的缺陷分析用电镜
5. 纳米制造领域的加工精度保证