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气体质量流量控制仪

原理&结构

FGM222系列质量流量控制器（Mass Flow Controller） 是基于流量传感器芯片，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所 开发的一款智能化、高精度的气体质量流量控制器产品。该产品配备有电磁比例阀、不锈钢1.4435接液材质、高精度微机电 流量芯片等，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。在输出方面，带有工业级液晶触控显示屏，具备流量设置、瞬时 流量和累积流量显示等功能。输出信号可选择：4-20mA 和 1-5V 模拟信号，以及 RS485 等数字 通信方式。

气体质量流量控制仪

特点

温度和压力不敏感

*的零点稳定性

超快的响应速度

良好的重复性和再现性

多种信号输出方式

采用液晶触控显示和控制

配备比例电磁阀

应用

半导体加工

燃烧控制室

分析和环保

真空技术

表面处理

食品和制药

化工（石化）等过程控制

技术参数

尺寸图

选型表

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