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UV光氧利用特制的高能UV紫外线光束照射恶臭等废气，裂解废气的装置。其反应原理为：在高能紫外线（代表波长为185nm）的作用下，一方面空气中的氧气被裂解产生臭氧；另一方面高能紫外线将污染物质的化学键断裂，使之形成游离态的原子或基团；同时产生的臭氧参与到反应过程中，使废气最终被裂解氧化成CO2、H2O等稳定的化合物。

光催化是利用光催化剂在紫外线（代表波长为254nm）照射下具有的氧化还原能力而净化污染物。当半导体光催化剂纳米粒子受到大于禁带宽度能量的光子照射后，电子从价带跃迁到导带，产生了电子-空穴对，电子具有还原性，空穴具有氧化性，空穴与氧化物半导体纳米粒子表面的-OH反应生成氧化性很高的•OH，活泼的•OH可以把许多难降解的有机物氧化为CO2、H2O等无机物。

由于TiO2催化剂价格低廉，来源广泛，对紫外光吸收率较高，抗光腐蚀性北学稳定性和催化活性高，且没有毒性，对很多有机物有较强的吸附作用，因而成为各类试验研究中zui常用的光催化剂。为了提高催化剂的活性和适应不同类型的废气处理，也经常添加一些贵金属铂、钯、钌和过渡族元素的氧化物以及稀土元素的氧化物等作为催化剂。