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精密型台阶仪

供应商：
戈瑙（上海）工业设备有限公司
企业类型：
其他

产品简介

此型工业用台阶仪基于Windows 操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能基板、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。该仪器 配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD 原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。

详细信息

产品主要特点：

 

1. 采用直动式检出器，测量稳定

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2. 重复性及再现性

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3. 低测定力采用

a. 测定力从0.5N~500N,0.05~50mgf范围内任意设定

b. 可测量柔软性质表面


4. 真实能见度

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基本参数配置：


一、样品台：

1. 样品台尺寸：φ160mm

2. 工件尺寸：φ200mm

3. 工件厚度：52mm

4. 工件重量：2kg

5. 倾斜调整范围：±2°(±5mm/160mm)

6. 样品台材质：黑色硬质铝

7. 手动旋转：360°(手动粗调)、±5°(微调，最小约0.5°)


二、传感器（pick up）：

1. 原理：直动式传感器 （业界）

2. Z方向测定范围：Max. 600μm

3. Z方向最小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率时)

4. 测定力： 10uN ~500uN

5. 触针半径：2 μm 60° 钻石针头 （另有多种可选）

6. 驱动方式：直动式

7. 再现性：1σ= 0.2nm (1um以下台阶时)


三、X 轴 (基准轴/测量轴)：

1. 移动量(测长)：100mm (±50mm)

2. 真直度：0.2μm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)

3. 移动,测定速度：0.005~20mm/s

4. 线性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1μm

5. 位置重复误差：±5um


四、Z轴：

1. 移动量：54mm

2. 移动速度：max.2.0mm/S

3. 检出器自动停止机能


五、Y轴：（手动定位用）

1. 移动量：25mm（±12.5mm）


六、工件观察：

1. 彩色1/3”CCD，x4物镜倍率

2. 综合倍率：约320倍 (使用19” monitor时)

3. 视野：1.2*0.9mm

4. 观察方向：右侧斜视

5. 照明：白色LED（可使用软件调整明暗度）


更多型号及各类不同特殊应用请随时咨询我司人员进行交流咨询，以便提供给您更加精准的型号配置推荐。






产品主要特点：

 

1. 采用直动式检出器，测量稳定

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2. 重复性及再现性

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3. 低测定力采用

a. 测定力从0.5N~500N,0.05~50mgf范围内任意设定

b. 可测量柔软性质表面


4. 真实能见度

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基本参数配置：


一、样品台：

1. 样品台尺寸：φ160mm

2. 工件尺寸：φ200mm

3. 工件厚度：52mm

4. 工件重量：2kg

5. 倾斜调整范围：±2°(±5mm/160mm)

6. 样品台材质：黑色硬质铝

7. 手动旋转：360°(手动粗调)、±5°(微调，最小约0.5°)


二、传感器（pick up）：

1. 原理：直动式传感器 （业界）

2. Z方向测定范围：Max. 600μm

3. Z方向最小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率时)

4. 测定力： 10uN ~500uN

5. 触针半径：2 μm 60° 钻石针头 （另有多种可选）

6. 驱动方式：直动式

7. 再现性：1σ= 0.2nm (1um以下台阶时)


三、X 轴 (基准轴/测量轴)：

1. 移动量(测长)：100mm (±50mm)

2. 真直度：0.2μm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)

3. 移动,测定速度：0.005~20mm/s

4. 线性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1μm

5. 位置重复误差：±5um


四、Z轴：

1. 移动量：54mm

2. 移动速度：max.2.0mm/S

3. 检出器自动停止机能


五、Y轴：（手动定位用）

1. 移动量：25mm（±12.5mm）


六、工件观察：

1. 彩色1/3”CCD，x4物镜倍率

2. 综合倍率：约320倍 (使用19” monitor时)

3. 视野：1.2*0.9mm

4. 观察方向：右侧斜视

5. 照明：白色LED（可使用软件调整明暗度）


更多型号及各类不同特殊应用请随时咨询我司人员进行交流咨询，以便提供给您更加精准的型号配置推荐。