汉钟IPH系列半导体专用真空泵 供应商：上海柒孚机械设备有限公司 企业类型：代理商 在线询盘 进入展台 产品简介 用途： Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD 特点： IPH系列螺杆真空泵能够在广泛的应用领域提供优良的性能，适用于严苛制程。 它优良的性能源自于转子排气路径和*的转子型线设计。 汉钟*型线设计，上海，中国台湾，制造。 较之前的版本节能25%，配置有省电模式。 带有加热系统避免制程物沉积。 优化的尺寸，即插即用。 详细信息
