ATH-M 系列 磁悬浮涡轮分子泵
产品简介
详细信息
阿迪克森磁悬浮涡轮分子泵
五大防腐特性
自动平衡系统
嵌入式75加热系统
5轴控制
惰性气体吹扫
逆向动力密封（适用于ATH400与ATH1300型）
高流量应用
ATH 400 M, ATH 1300 M,ATH 1600 M ATH2300 and ATH 2800 MT型是专为高压、高流量的半导体工业以及其他薄镀膜工艺而设计。
紧凑而现代的设计：
可调节转速以优化抽气时的参数
高平均*时间
使用成本低
低噪音低振动
无需电池
应用：
玻璃镀膜
微处理系统加工
离子束矫正
电子显微镜
空间模拟腔
粒子加速器
半导体工艺(刻蚀, CVD, 离子插入)
镀膜与薄镀膜工艺
离子铣
以及许多研发实验