SFJ-231D型半导体专用氦质谱检漏仪
产品简介
详细信息
| 技术指标 | 单位 | SFJ-231D型 |
|---|---|---|
| 最小可检漏率（真空模式） | Pa·m3/s | 5×10-13 |
| 最小可检漏率（吸枪模式） | Pa·m3/s | 1×10-8 |
| 检漏口压力 | Pa | 1500/200/40 |
| 粗抽能力 | m3/h | 10 |
| 检漏口规格 | " | DN25 ISO-KF |
| 启动时间 | min | ≤2 |
| 接口 | " | RS-232/485 USB*2 |
| 输入/输出接口 | " | 数字和模拟I/O，继电器 |
| 尺寸 | mm | 645*678*965 |
| 重量 | kg | 75 |
| 电压 | V | 220±10%,50Hz |
| 功率 | W | 1000 |
| 语言 | " | 中文、英文 |
| 温度 | ℃ | 10-40 |