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由于采用了共聚焦成像原理，Smartproof 5将传统光学分辨率提高1.4倍，其XY方向线分辨率达到120 nm。

　　l高测量精度

　　同时，在充分利用共聚焦能提供高度信息的基础上，Smartproof 5配备了精度高、重复性好的Z轴自动步进装置，*小步进精度达到1nm，这使得高度上亚微米，甚至纳米尺度的非接触式精确测量成为可能。

　　l高速扫描

　　传统共聚焦采用点扫描成像，速度较慢;而Smartproof 5采用转盘扫描，成像速度大大提高，*快的高精度模式扫描速度超过50幅/秒(2048*2048分辨率)，可以说瞬间即可得到测量结果，大大提高工作效率。

　　l真实色彩还原

　　还可使用三色LED光源，能够展现被测试样表面的真实颜色，从而将传统黑白共聚焦扫描显微镜拓展到更广阔的应用领域。

　　技术参数：

　　1. 波长：405nm

　　2. 分辨率：120nm

　　3. Z轴*小步进精度：1nm

　　4. 成像速度：常规共聚焦的2-3倍

　　5. 物镜：2.5x-100x

　　6. 高度扫描范围：高达5mm

　　7. 载物台：150mm×150mm超大行程

　　8. 控制系统：Smartproof 5应用软件

　　9. 图像处理和数据测量：

　　2D：距离，高度，角度，构造元素，基于ISO 4287的轮廓粗糙度

　　3D：水平距离，3D距离，高度，角度，构造点，面积，体积，基于ISO 25178的面粗糙度

　　其他：水平调整，形状去除，滤波，去噪，报告

　　应用

　　1. 汽车制造：研究活塞的摩擦磨损、特殊要求的部件表面粗糙度测量、焊接组件及接缝处的角度测量

　　2. 航空航天工业：评价橡胶密封圈的磨损、特殊要求表面 的粗糙度分析

　　3. 科研：植入器官的表面测量

　　4. 微光学/机械制造：敏感精密光学部件的表面测量、精密机械部件的精密几何测量

　　5. 电子：导线的几何量测量(宽度，厚度等)、焊接结点的质量过程控制

　　6. 造纸：纸张以及印刷品的表面测量