脉冲激光沉积腔体系统-化工机械设备网

脉冲激光沉积腔体系统

脉冲激光沉积腔体系统（PLD系统）是一个基于不锈钢圆形腔室的真空设备。该腔室多个法兰口可安装实验配件，包括RHEED、发射光谱、高温测定、薄膜沉积晶振等，实现对薄膜生长速率的控制。该设备主要包括真空系统、磁耦合转靶机构，高温加热伸缩机构。