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牛津仪器

原理

搭配电子扫描显微镜做元素分布分析，定量分析。利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。EDS是扫描电镜上配搭的一个用于微区分析成分的配件——能谱仪，是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。

应用

元素定性及定量分析。