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搭配高解析工业用CCD·专门用于高精度/细小特征的扫描工作·可用于制程问题解析或是品质管制.等相关检测应用。ATOS Capsule采用蓝光窄域波长投影技术,扫描时CCD只接受蓝光波长的光线’避免环境光而不受干扰因此可以得到更精 确的量测。光源亮度非常高’在品质不佳的表面也能够快速完成量测。此外更具有超过10000小时的寿命。