日本三丰超高精度全自动影像测量仪
产品简介
详细信息
• ULTRA QV404 是实现了世界测量精度E1XY=(0.25+L/1000)μm 的超高精度CNC 影像测量系统。
• 为了将直线度误差控制至最小，X、Y、Z3轴移动方式采用了高精度三坐标等使用的空气轴承。
• 通过FEM (有限要素法) 解析后的设计实现了本体的高刚性化。
• 作为基准的测长方式采用了分辨力为0.01μm的光学式线性编码器。该编码器的线性膨胀系数为零，将温度变化产生的误差控制到最小限度。
超高精度玻璃光栅尺在三丰公司的清原工厂地下车间生产。
ULTRA QV404PRO规格| ULTRA QV 404 | ||
| 测量范围 (X×Y×Z) | 400×400×200mm | |
| 放大倍率转换系统 | PPT1X-2X-6X | |
| 分辨力 | 0.01 µm | |
| 长度测量装置 | 线性编码器 | |
| 影像测量方法 | CCD 照相机 | |
| 测量精度*1 *2 | E1X, E1Y | (0.25+L/1000)µm |
| E1Z | (1.5+2L/1000) µm (测量范围: 200mm) (1.0+2L/1000) µm (测量范围: 10 - 60mm) | |
| E2XY | (0.5+2L/1000)µm | |
| LAF重复精度*3 | σ= 0.4µm | |
| 照明装置 *4 | 同轴照明/ 透射照明/ 程控环形照明 | |
| 工作台玻璃尺寸 | 493×551mm | |
| 台面承重 *5 | 40kg | |
| 尺寸 (W×D×H) | 1172×1735×1910mm | |
| 重量 ( 包括机器设置台 ) | 约 2150kg | |
*1 L = 任意2 点之间的尺寸(mm)
*2 依据三丰公司的检查方法。
*3 于带LAF 的机型。
*4 冷光源照明用卤素灯泡和光纤
*5 不包括的载重、集中载重。