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应用十五、氦质谱检漏仪用于电磁阀检漏

德国Pfeiffer HLT 560 氦质谱检漏仪用于电磁阀阀芯检漏应用案例—深圳某事业有限公司

一、 电磁阀阀芯检漏原因:
该客户是为日本某半导体设备厂生产精密零件镭射焊接（电磁阀阀芯）,一共有5个型号,月产量2000-3000个阀. 精密零件镭射焊接（电磁阀阀芯）产品如下图:

二、 电磁阀阀芯检漏方法
大概的检测过程为:来料用放大镜目视检测,镭射焊接完成后再目视检测,最后用氦气质谱检漏仪做最后检测,漏率值以氦气检漏仪测出的资料为准.

客户以前用的是日本某品牌的检漏仪,现在新上的项目都改为德国Pfeiffer的HLT 560这一款检漏仪,这是因为,只有德国Pfeiffer的HLT 560能满足这么高的漏率值测试,且资料可靠.另外还具有操作简单,生产效率高的优点.

三、电磁阀阀芯检漏操作说明

由于半导体工业上用的气体如矽烷( SiH4), 氨气(NH3)等等都是有毒或有腐蚀性的气体,所以对所用的阀及相关部件, 漏率要求非常严格, 要求成品最终漏率低于5-10 mbar l / s, 而这样的漏率要求也只有氦质谱检漏仪能达到了.
1),先将阀接入工装,形成一个密闭的腔体.再将检漏仪连接到工装上.
2),启动氦质谱检漏仪, 检漏仪开始抽取密闭腔体中的气体,同时显示一个漏率值.
3),在镭射焊缝和怀疑有漏的地方喷氦气,同时观察检漏仪上显示的漏率值有无变化.
4),如果漏率值上升,说明喷氦气的地方有漏,该被检对象品质不合格.如果漏率值能达到要求,该被检物件合格,检漏检测完成.

应用十六、氦质谱检漏仪用于直通阀检漏

一、阀门检漏需求

阀门的密封性能是考核阀门品质优劣的主要指标之一. 所以在设计生产阀门时就
要提高其密封性能, 并且在出厂前道工序应对阀门做密封性检测. 目前国内
许多阀门厂家使用水检法和气压法进行气密性检测, 但是使用此方法只能检到漏孔
比较大的情况, 一般最小可检漏率1X10E-3 mbar l/s. 但随着客户对产品品质要求
的不断提高, 水检法和气压法已经无法满足要求. 为了保证产品竞争, 许多厂家引
进了氦气检漏仪, 对于目前常用的检漏方法, 氦气检漏法被*为可靠的方法之一.
而德国Pfeiffer 氦质谱检漏仪具有体积小、重量轻、内部模组化设计、检测维修方便、
使用简单、一键式操作等优点受到广大客户的青睐.

上海阀特流体主要生产销售各种自动控制阀门, 部门产品出口到国外. 如下图所示
为该司生产的直通阀, 用于有毒气体设备, 为了作业人员安全及避免环境污染, 客户
要求出厂前对阀门做气密性检测.

二、阀门检漏方法
Pfeiffer HLT 系列氦质谱检漏仪同时拥有两种检漏模式, 真空模式 (vacuum mode)
及正压模式 (sniffer mode), 可根据客户不同需求, 选择不同的检漏方法. 阀门多
采用检漏仪的负压模式既真空模式检漏, 其最小可检查漏率为5X10-12 mbar l/s.

三、阀门检漏操作
1. 如下图所示, 工作人员用波纹管连接待检测的直通阀与德国Pfeiffer HLT 560
氦质谱检漏仪.





2. 启动DUO 旋片泵, 直通阀抽真空, 同时启动氦质谱检漏仪并显示一个漏率值. 当旋片泵
抽真空到达一定真空度（背压为 25 mbar业界）时, 可以进行检漏操作.

3. 如下图工作人员向直通阀密封处和怀疑有漏的地方喷氦气, 同时观察检漏仪上显示的
漏率值有无变化.



4. 如果漏率值上升, 说明喷氦气的地方有漏, 该被检对象品质不合格. 如果漏率值能
达到要求, 该被检物件合格, 检漏检测完成.