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一、 产品概述

采用关键机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS（ Microelectromechanical systems）气体质量流量计和流量控制器，主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。

该产品能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿。

二、 技术参数

2.1 测量介质：各种气体（乙炔气和混合气体除外）

2.2 流量范围： DN3 100-1000ml/min

DN4 250-2500ml/min

DN6 1000-10000ml/min

DN8 1500-15000ml/min

DN10 2500-25000ml/min

DN18 10-100SLM

注：(a)以上流量的测量介质为空气而言；

(b)以上流量的标准状态20℃，101.325kPa。

(c) 每个口径量程范围均可扩大

((d)特殊需要可联系厂家单独标定

2.3 流量测量准确度：±1.5%FS；±2.5%FS

2.4 工作温度范围：0-55℃；

2.5 工作压力范围：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa

2.6 供电电源：24VDC±10%；

2.7 输出信号：4-20mA，RS485通讯；

2.8 环境温度：0-55℃；

2.9 显示位数：瞬时流量为三位，累积流量10位。

三、 工作原理

uf感热式芯片技术是采用大规模集成电阻的工作， 保证传感器的高度一致，解决了：“现在传统的热式质量流量计无法保证其传感器的电阻值的一致性，导致传感器在各个法线方向热传导速度的差异，所以传统的热式质量流量计在传感器校准和使用过程中产品稳大定性存在问题，实际应用中的热式质量流量计价格昂贵，大规模应用比较难”的问题。而uf感热式芯片的功耗大大小于普通的热式质量流量计，同时可靠性稳定,安全性更好。

在芯片上，一个微热源及分别处于微热源上下游的温度传感器集成在采用MEMS的*工艺制作的镂空桥面上。采用这这样的桥式方式制作有利于热传导，使动态响应时间大大提高。当传感器工作时，微热源与环境温度之间保持一定的温差（通常是70℃），在芯片周围形成固定的温度场分布。如果气体是单向流动，则在气道中温度场可用下述公式来计算：

式中：气体流动方向为ｘ，速度为ｖ，ａ为扩散率。

如上图（式）所示，当气体流过芯片时，将会带走热量，通过质量流量qm和电压V的对应关系来计算流体的质量流量。

四、产品特点

1、产品集成度高，集瞬间流量显示、累计流量显示和信号输出一体，并可实现自动调节、控制阀门。

2、μf微流量感热式传感器采用大规模集成电路生产技术和材料加工技术，使流量计的微流量测量灵敏度显著提升。

3、微小流量气体测量，ml/min级的微流量测控，实现微小流量测量的数字化。

4、单个芯片的流量特性的微处理技术，使流量计的量程范围大大提高。

5、机电一体化优化设计，智能化的数据处理技术，使流量计具有更好的重复性，实现了计量的准确、可靠。

5、结构的优化，MFM流量计的压力损失达到最小化。

6、采用国际的MF传感技术，使流量计工作更稳定、可靠。

7、零点自校功能，测量更准确。

8、多种气体实际标定，全量程补偿。

9、快速响应、数据自动存储，配合上位机可实现网络集中管理。

10、规格齐全，量程范围宽，可根据用户要求单独标定。

11、精度等级高，满足用户高精度测量要求。

12、的流量计报警功能，使监控更可靠。

13、操作、设置界面友好、简便，可根据需要自行设定相关参数。

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14、运用行业多，是科研院所、分析仪表行业、半导体行业、光伏行业、玻璃镀膜、石油化工行业微小气体流量控制产品升级换代的。

1五、产品分类与命名

微气体质量流量计的型号命名