日本电子JSM-7500F 冷场发射扫描电子显微镜
产品简介
详细信息
强大的通用性与分辨率的组合
JSM-7500F场发射扫描电镜的电子光学系统将场发射电子枪和半浸没式(semi-in-lens)物镜组合为一体,冷场发射电子枪在低加速电压下也能够将电子束聚焦得很细,与通用型扫描电镜一样,对大样品也可以进行高分辨率的观察。
Gentle Beam(即柔和光束)能以极低能量的入射电子束观察样品的浅表面
通过给样品加以偏压并照射电子束,利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 (柔和光束),以几百电子伏的入射电子对样品的浅表面进行高分辨率观察,这是迄今为止未能实现的。。
新型 r-过滤器选择性检测二次电子和背散射电子
新型 r-过滤器有标准SB(二次电子检测)模式、标准BE模式(背散射电子检测)、Sb模式(二次电子为主)和Bs模式(背散射电子为主)四种模式。Sb模式能检测混有任意比例背散射电子的二次电子,Bs模式能检测混有任意比例二次电子的背散射电子,这些功能在简明易懂的菜单上都可一键操作完成。