混合气体发生器HovaGas
产品简介
详细信息
热式质量流量控制器 (MFC)能在很大范围内测量和控制气体流量，并不受气体温度和压力的影响。其工作原理基于对热量传导和流量的测量。
HovaGas将质量流量控制器的优点与智能操控结合起来，通过灵敏的按键和图像显示屏(触屏）实现仪表操作。
HovaGas 的核心是数字气量控制单元（GMU）—一个专为混合气体而设计的微处理器。它通过可视化的人机交互软件实现流量的实时控制。
质量流量控制器
功能
HovaGAS能通过接口RS232与电脑连接，实现远程操控。Windows操作系统的电脑安装软件viewGAS后，HOVAGAS的操作界面将以流程图的形式展现。HovaGas 的所有功能（包括数据的读取和存储）都可以远程操控。此外viewGAS 还可以定时控制气体浓度输入。
每一个气体流量和浓度都会展示在趋势图。一个合适的校准方案会产生多项式曲线，扩大存储空间。
技术优势
►自动调节浓度
►自动计算气体流量
►压差和温差不影响质量流量测量
►内部存储校准数据
►高精度经过多项校准
►同时最多混合8种气体
►测量和规定范围可根据客户要求定制
►通过接口与外部PC连接控制
►自动程序控制
►通过校准检查质量流量控制器
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技术参数
| 气体通道数量 | 最多8个 |
| 测量范围（可根据要求定制） | 最小: 3 mln/min / .: 1000 ln/min |
| 测量规定范围 | 流量的10-99% |
| 混合和稀释比例 | 取决于质量流量控制器和总流量：1:1000000 |
| 精度（经多项校准） | 优于测量值的0.5% |
| 再现性 | 优于限值的0.1% |
| 触屏 | PTFE, 不锈钢SS316，Viton® 可选: Kalrez® |
| 输入压力范围 | 0.5-5.0 bar可根据要求调节 |
| 输出压力 | 比入口压力低100 mbar |
| 压力偏差 | 在上述压力范围内可忽略不计 |
| 气体接口 | 6 mm Swagelok卡套接口或根据客户需求定制 |
| 混合区 | 内部，可选外部 |
| 预热时间 | 30min |
| 屏幕 | LCD 蓝色/白色 240 x 128 dot 背景照明Touch-Felder触摸领域 |
| 电压 | 110-240 V |
| 外壳 | 箱体，可选台式或19“-插入式 |
| 箱体尺寸 | 53 x 21 x 44 cm (W x H x D) 做多带5个质量流量控制器 |