FSM2 气体用小型流量传感器 RAPIFLOW(R)
产品简介
详细信息
【大流量、小体积】
流量范围：0.5～1000ℓ/min
500、1000L/min型实现了比原有体积减少30%的小型化。
【无需直管部位】
内置新的整流机构，上游侧和下游侧均无需直管部位，可自由设置。
【双方向测量】
显示一体型、双向型可任意设定流向进行测量。
【高速响应】
采用经过硅微加工的白金传感器芯片，实现50m/sec的响应速度。
【洁净规格】
标配有P70（防止发尘）、P80（禁油规格）产品。
半导体、液晶制造领域的用途。
| 型号 | 名称 | 流量范围（L/min） | 配管口径(Φ, Rc) | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| FSM2-A | 显示分离型 | 0.5～1000 | 4～10, 1/8, 1/4, 1/2 | 2022年01月31日 销售中止 |
| FSM2-N | 显示一体型（开关输出NPN 2点、模拟输出1点） | 0.5～1000 | 4～10, 1/8, 1/4, 1/2 | 2020年01月31日 销售中止 |
| FSM2-P | 显示一体型（开关输出PNP 2点、模拟输出1点） | 0.5～1000 | 4～10, 1/8, 1/4, 1/2 | 2020年01月31日 销售中止 |