SJ6000激光干涉仪
产品简介
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1. 产品简介
激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今的高精度、高灵敏度的测量仪器，在制造领域应用广泛。
SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。
SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
2.产品配置
SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。
其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。
二.工作原理
激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。
若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。
三. 产品功能特点
◆精度高
SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。
◆功能广
● 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
● 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
● 可实现龙门机床双轴同步测量；
● 可实现对机床回转轴的测量与校准；
● 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
● 具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；
● 支持手动或自动进行环境补偿。
◆软件强
● 友好的人机界面；
● 丰富的应用功能模块；
● 向导式的操作流程；
● 简洁化的记录管理；
● 支持中文、英文和俄文界面；
● 支持企业专属模板定制。
四. 技术指标
4.1. 技术指标
系统性能
1、测量方式：单频
2、稳频精度：0.05ppm
3、动态采集频率：50 kHz
4、预热时间：5-10分钟
5、工作温度范围：0~40℃
6、环境温度范围：0~40℃
7、存储温度范围：-20℃~70℃
环境补偿示值误差
1、空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
2、材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
3、空气湿度传感器：±6% (0-95%)
4、大气压力传感器：±1mBar (650-1150mbar)
线性测量
1、测量距离：0-40m
2、测量精度：0.5ppm (0-40℃)
3、测量分辨率：1nm
4、测量速度：4m/sec
角度测量
1、轴向量程：0-15m
2、测量范围：±10°
3、测量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）
4、测量分辨率：0.1μm/m
直线度测量
1、轴向量程：0.1-4.0 m
2、测量范围：±2.5 mm
3、测量精度：±0.5% R±0.5±0.15M2 μm（M为光学镜移动距离，单位：m）
4、测量分辨率：0.01μm
垂直度测量
1、测量范围：±3/M mm/m
2、测量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）
3、测量分辨率：0.01μm/m
平面度测量
1、轴向量程：0-15 m
2、测量范围：±1.5 mm
3、测量精度：±0.6% R±0.02 M2 μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）
4、测量分辨率：0.1μm
回转轴分度精度测量
1、角度测量范围：0-360°
2、精密转台角度增量：5°
3、精密转台分度精度：±1秒
4、精密转台重复性：0.2秒
4.2. 尺寸重量与供电
便携箱尺寸：560×360×250（基础系统），560×460×270（完整系统）
基本重量(含三脚架，包装)：15Kg
供电电源：110~265VAC
5. 系统组件
5.1. 系统组件
1) SJ6000主机：1台
2) 环境补偿单元：1台
3) 光学镜组：
线性测量光学镜组：1套（标准配置）
小型线性光学镜组：1套（标准配置）
小角度测量光学镜组：1套（选配）
直线度测量光学镜组：1套（选配）
垂直度测量光学镜组：1套（选配）
平面度测量辅助附件：1套（选配）
回转轴测量精密转台：1套（选配）
4) 测量软件：1套
5) 便携式笔记本电脑：1台
6) 便携式仪器配件箱：1个
7) 通用三脚架：1个
8) 云台附件：1套
9) 磁性表座：2套
10) 产品使用说明书：1套
11) 产品合格证、保修卡：1套
12) 免费保修：1年