日立高分辨冷场发射扫描电镜Regulus8100
产品简介
详细信息
Regulus8100是日立冷场发射扫描电镜系列，Regulus8100保留了SU8010易维护、易操作等优点，进一步提高性能，1kV减速模式下*高分辨率达到了0.8nm，15kV达到0.7nm，高低电压均可满足高分辨的观察。
产品特点
1.沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
2.采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的*佳性能；
3.(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)；
4.采用污染小、高真空样品仓；
5.运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2
应用领域
2、半导体器件；
4、生物医学；
技术参数
| 项目 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 二次电子分辨率 | 0.7 nm(加速电压15 kV)0.8 nm(着陆电压1 kV）*3 | 0.6 nm（加速电压 15 kV） 0.7 nm（着陆电压 1 kV）*3 | |||||
| 着陆电压 | 0.1～2 kV | 0.01～20 kV | |||||
| 放大倍率 | 20～1,000,000倍*4 | 20～2,000,000倍*4 | |||||
| 样品台 | 样品台控制 | 3轴马达台（可选5轴马达台） | 5轴马达驱动 | ||||
| 移动范围 | X | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～110 mm | ||
| Y | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～80 mm | |||
| R | 360° | ||||||
| T | -5～70° | ||||||
| Z | 1.5～30 mm | 1.5～40 mm | |||||
| 再现性 | - | - | - | ±0.5 µm以下含±0.5 µm | |||
*4以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率