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K-AlphaX 射线光电子能谱仪 （XPS） 系统的详细资料

分析选项包括革命性的复合型离子源、一个用于将空气敏感样品从手套箱转移到系统的真空传递模块，以及用于收集 ARXPS 数据的倾斜模块。配备 Thermo Scientific™ Avantage 数据系统（全面的表面分析软件系统），K-Alpha+ 具有一系列的软件功能，专为优化数据解读、数据报告和可用性而设计。K-Alpha XPS 系统可满足经验丰富的 XPS 分析员和新手的要求，将高性能单色化 XPS 和溅射深度剖析与智能自动化和直观控制结合在一起。

强大的性能

可选面积能谱分析

溅射深度剖析

微聚焦单色器

快照采集

高分辨率化学状态能谱分析

绝缘样品分析

定量化学成像

无以伦比的易用性

采集——能谱、图像、剖析、线扫描

解读—— 元素和化学状态鉴定

处理—— 定量、分峰拟合、实时剖析显示、能谱图像处理、PCA、相分析、TFA、NLLSF、PSF 扣除、光学/XPS 图像叠加

报告—— 自动生成报告且可轻松导出到其他软件包

控制——所有硬件都通过 Avantage 软件界面进行控制

Avantage Indexer——数据存档索引

审计跟踪记录

系统性能记录

按需校准

的远程操控

主要特点

分析器—— 180° 双聚焦半球型分析器，配备 128 通道检测器

X 射线源—— Al Ka 微聚焦单色器，可变光斑尺寸（30-400 µm，以 5 µm 为步长）

离子枪—— 能量范围 100-4000 eV

荷电补偿——双束源

样品处理——4 轴样品台、60 x 60 mm 样品区域、20 mm 大样品厚度

真空系统——2 x 260 L/s 涡轮分子泵，用于进样室和分析室

可选配件——Thermo Scientific™ MAGCIS™复合型离子源、真空传递模块、用于 ARXPS 的倾斜模块、样品偏压模块。