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仪器仪表光学仪器电子显微镜

日立扫描电子显微镜

供应商:
合肥瑞生仪器有限公司
企业类型:
其他

产品简介

详细信息

  低加速电压下高分辨

  3 KV加速电压下分辨率7 nm,5 KV加速电压时背散射电子分辨率可达10 nm

  SU3500 采用全新电子光学系统,图像质量进一步提升。全新设计的低球差物镜和偏压系统保证低加速电压下的高发射束流,所以

  二次电子分辨率在 3 KV 是可达 7 nm,背散射电子的分辨率在 5 KV 时可达 10 nm

  减轻荷

  减轻荷电扫描模式为:快速多次对一行进行扫描取得信号后再扫描下一行,因此,电子束在同一位置的停留时间得以缩短,比通常的慢扫模式对减轻荷电及电子束损伤更有效。