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自20世纪70年代初，人们开始致力于液质联用接口技术的研究。在开始的20年中处于缓慢的发展阶段，研制出了许多种联用接口，但均没有应用于商业化生产。直到大气压离子化接口技术的问世，液质联用才得到迅猛发展，广泛应用于实验室内分析和应用领域。 液质联用接口技术主要是沿着三个分支发展的： 1、流动相雾化后除去溶剂，分析物蒸发后再离子化，形成了“传送带式”接口和离子束接口等。 2、流动相进入质谱直接离子化，形成了连续流动快原子轰击技术等。 3、流动相雾化后形成的小液滴解溶剂化，气相离子化或者离子蒸发后再离子化，形成了热喷雾接口、大气压化学离子化和电喷雾离子化技术等。有关液相质谱的接口技术和LC-MS技术的发展，Niessen曾经进行了较为详细的综述。 液质联用制氮机是将空气分离，点解膜的负极侧发生氧化反应，消耗掉空气之中的氧化性气体，在正极侧还原，空气流过电解池之后就只剩下氮气和惰性气体。这种分离方法决定了氮气的纯度不可能做的很高，因为它与空气流速、有效分解面的长度以及电解电势的强弱都有关系，之所以加入电解质的原因就是要提高水的导电率，使其化学反应能够顺利进行。

制氮机是根据变压吸附原理，采用高品质的碳分子筛作为吸附剂，在一定的压力下，从空气中制取氮气。经过纯化干燥的压缩空气，在吸附器中进行加压吸附、减压脱附。由于空气动力学效应，氧在碳分子筛微孔中扩散速率远大于氮，氧被碳分子筛优先吸附，氮在气相中被富集起来，形成成品氮气。然后经减压至常压，吸附剂脱附所吸附的氧气等杂质，实现再生。一般在系统中设置两个吸附塔，一塔吸附产氮，另一塔脱附再生，通过PLC程序控制器控制气动阀的启闭，使两塔交替循环，以实现连续生产高品质氮气之目的。整套系统由以下部件组成：压缩空气净化组件、空气储罐、氧氮分离装置、氮气缓冲罐。 一、压缩空气净化组件空气压缩机提供的压缩空气首先通入压缩空气净化组件中，压缩空气先由管道过滤器除去大部分的油、水、尘，再经冷冻干燥机进一步除水、精过滤器除油、除尘，并由在紧随其后的超精过滤器进行深度净化。根据系统工况，特别设计了一套压缩空气除油器，用来防止可能出现的微量油渗透，为碳分子筛提供充分保护。设计严谨的空气。净化组件确保了碳分子筛的使用寿命。经本组件处理后的洁净空气可用于仪表空气。 二、空气储罐 空气储罐的作用是：降低气流脉动，起缓冲作用；从而减小系统压力波动，使压缩空气平稳地通过压缩空气净化组件，以便充分除去油水杂质，减轻后续PSA氧氮分离装置的负荷。同时在吸附塔进行工作切换时，它也为PSA氧氮分离装置提供短时间内迅速升压所需的大量压缩空气，使吸附塔内压力很快上升到工作压力，保证了设备可靠稳定的运行。 三、氧氮分离装置装有专用碳分子筛的吸附塔共有A、B两只。当洁净的压缩空气进入A塔入口端经碳分子筛向出口端流动时，O2、CO2和H2O被其吸附，产品氮气由吸附塔出口端流出。经一段时间后，A塔内的碳分子筛吸附饱和。这时，A塔自动停止吸附，压缩空气流入B塔进行吸氧产氮，对并A塔分子筛进行再生。分子筛的再生是通过将吸附塔迅速下降至常压脱除已吸附的O2、CO2和H2O来实现的。两塔交替进行吸附和再生，完成氧氮分离，连续输出氮气。上述过程均由可编程序控制器（PLC）来控制。当出气端氮气纯度大小设定值时，PLC程序作用，自动放空阀门打开，将不合格氮气自动放空，确保不合格氮气不流向用气点。气体放空时利用消声使噪声小于75dBA。 四、氮气缓冲罐 氮气缓冲罐用于均衡从氮氧分离系统分离出来的氮气的压力和纯度，保证连续供给氮气稳定，同时，在吸附塔进行工作切换后，它将本身的部分气体回充吸附塔，一方面帮助吸附塔升压，另外也起到保护床层的作用，在设备工作过程中起到极重要的工艺辅助作用。 制氮机、氮气机、氮气发生器、变压吸附制氮机、高纯度制氮机、制氮装置、制氮系统、制氮设备、制氮装备、制氮机组、氮气系统、PSA制氮机组、PSA制氮系统、PSA制氮装置、PSA制氮设备、氮气设备、空气分离制氮机、工业制氮机、高纯度制氮机、工业制氮装置、工业制氮系统、工业制氮装备、工业制氮设备。