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高精度，多用途的层流式质量流量计

■ 精度可达读数的 ±0.8%, 满量程的±0.2%;重现性为±0.2%
■ 可测量20种标准气体-根据显示可选
■ 流量在1 SCCM范围内1%~99%可调节，量程可达1000 SLPM
■ 具有NIST追踪证书

这种流量计通过测量气体通过层流器（LFE）产生的压降来测量气体流量。 因为层流器已经

将气流分层，因此无需在流量计上再使用逆流或顺流直管，极大地简化了流量计的安装过程。

同热质量技术相比，LFE设计具有超短的反应时间（10毫秒以内），可直接使用而无需预热

等待。

使用显示屏周边环绕的连体键盘即可完成全部编程操作。 可通过0~5 VDC信号将流量值输

出到远程显示屏，记录仪或用于调节阀门/泵的控制器上。

流量控制器具有积分PID功能，可以随流量要求的变化而做出调节。 可使用键盘，可选的

设定控制模块，0~5V信号或RS-232输入信号进行流速设定。  设定控制模块订购信息见下

表。 订购使用下表中的电池包，可实现流量计便携式使用。

随机配备： 厂商提供的NIST追踪证书,120/230 VAC电源适配器，带通讯线。

参数
颗粒尺寸 1 LPM以内的型号： 20 µm  1 LPM ~1000 LPM的型号: 50 µm
精度: 读数的±0.8%；±0.2% 满量程
重现性： ±0.2%
反应时间  流量计： 10 msec 流量控制器： 50 msec
使用温度: -10~50°C
压力: 10 bar
压力降： 0.05~0.20 bar （流量计）
输出信号: 0~5 VDC, RS-232, 0~10 VDC
输入信号: 0~5 VDC, RS-232, 0~10 VDC
浸润部件   流量计： 302和303 SS, Viton®, 硅酮RTV,和玻璃强化尼龙，铝  流量控制

器： 302, 303 SS; Viton, 硅酮RTV, 玻璃强化尼龙, 铝, 黄铜, 410 SS, 硅, 玻璃。