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仪器仪表测量计量仪器真空计

Gemini™ 大气压至超高真空真空计

供应商：
英福康（广州）真空仪器有限公司
企业类型：
其他

产品简介

详细信息

好处

  • MPG500 series represents the latest Technology to act as direct replacement for Cold Cathode or Penning Transmitters of the  PTR 90 / PTR 225 (analog Versions) series.

  • 在恶劣环境下，使用寿命长

  • 低杂散磁场
  • 零维护- 可换插头
  • 超紧凑尺寸
  • 可靠的快速点火
  • 抗腐蚀馈入装置
  • 可选测量电流

典型应用

  • 基本压力监视和控制，在蒸发和溅射镀膜应用中从大气压到高真空。
  • 一般真空测量 – 工业炉、建筑玻璃、半导体、冰箱和空调。
  • 分析和研发应用 – 质谱分析、电子显微镜、医疗、眼科、光学和高能物理。

新闻

新一代冷阴极/冷阴极-皮拉尼组合真空计现在开放订购！

规格

类型 MAG50x MPG50x
测量系统 Cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle) Pirani and cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle)
测量范围（空气、氮气） 1×10-9 … 1×10-2 1×10-9 … 1000
准确度 (N2)    
1×10-8 … 1×10-2 毫巴 % of reading 30 30
1×10-2 … 100 毫巴 % of reading - 15
100 … 1000 毫巴 % of reading - 50
可重复性 (N2)    
1×10-8 … 1×10-2 毫巴 % of reading 5 -
1×10-8 … 100 毫巴 % of reading - 5
安装定位 any any
容许压力 bar (absolute) 10 (limited to inert gases <> 10 (limited to inert gases <>
容许温度    
运行（环境） °C +5 ... +55 +5 ... +55
法兰烘烤 (1) °C <150 <150
储存 °C -40 ... +70 -40 ... +70
灯丝温度 °C - 120
一年 30 天的相对湿度    
1×10-7 … 1×10-2 毫巴 % <95 (non-condensing) <95 (non-condensing)
1×10-8 … 1×10-2 毫巴 % <70 (non-condensing) <70 (non-condensing)
供电电压    
在量规 (2) V (dc) +14.5 ... +30 +14.5 ... +30
波纹 V (p-p)

<1

<1
功耗 W <2 <2
待连接的保险丝 AT <1 <1
电压范围    
模拟输出 V 0 ... +10.5 0 ... +10.5
测量范围    
3MAx-00x-0x0N V +1.5 ... +8.5 -
3MBx-00x-0x0P V - +1.398 ... +8.598
3MAx-00x-0x0Q V +0.667 ... +10 -
电压比压力    
3MAx-00x-0x0N volts per decade 1 (logarithmic) -
3MBx-00x-0x0P volts per decade - 0.6 (logarithmic)
3MAx-00x-0x0Q volts per decade 1.33 (logaritmic) -
错误信号    
错误信号 V

<+0.5

09.5 ... +10.5
输出阻抗 Ω 2x10 2x10
负载阻抗 kΩ

>10 (short circuit-proof)

>10 (short circuit-proof)
阶跃响应时间    
p > 10-6 毫巴 ms

<10

<10
p = 10-8 毫巴 ms

~1

~1
量规标识 kΩ 100 85
状态（针 6）    
仅皮拉尼模式 V - 0 (low)
冷阴极点燃 V +15 ... +30 -
组合皮拉尼/冷阴极模式 3) V - +15 ... +30 (high)
电气连接    
3Mxx-00x-000x FCC68, 8-pin, female FCC68, 8-pin, female
3Mxx-00x-010x D-sub, 9-pin, male D-sub, 9-pin, male
传感器电缆    
3Mxx-00x-000x 8-pin, shielded 8-pin, shielded
电缆长度    
50 米电缆 m < 50 (8x0.14 mm2) < 50 (8x0.14 mm2)
75 米电缆 m < 75 (8x0.25 mm2) < 75 (8x0.25 mm2)
100 米电缆 m < 100 (8x0.34 mm2) < 100 (8x0.34 mm2)
300 米电缆 m < 300 (8x1.00 mm2) < 300 (8x1.00 mm2)
工作电压 kV <3.3 <3.3
工作电流高 µA <500 <500
工作电流低 µA <100 <100
曝露在真空的材料    
3Mx0-00x-0x0x Ni alloy, AI2O3, glass, stainless steels W, Ni alloy, AI2O3, glass, stainless steels
3Mx3-00x-0x0x Ni alloy, AI2O3, stainless steels Ni alloy, AI2O3, stainless steels
内部容量 cm³ 22.8 22.8
重量    
DN 25 ISO-KF g

<280

<280
DN 40 ISO-KF g <320 <320
DN 40 CF-F & CF-R g <570 <570
防护等级 IP 40 IP 40
标准    
符合CE

EMC (EN 61000-6-2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS

EMC (EN 61000-6-2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS

维护 none none

1) 没有电子设备。

2)供电装置的最小电压必须根据传感器电缆的长度成比例增加。

3) 冷阴极点火。

零件号

MAG50x
零件号 明细
3MA0-007-000Q MAG500 SS,HC,FCC,40KF
351-500 MAG500 spare sensor, 25KF, SS
351-512 MAG500 spare sensor, 40KF, SS
351-555 Spare ion chamber ss
351-550 MxG50x 点火单元
351-995 起辉器
MPG50x
零件号 明细
3MB0-006-000P MPG500 SS,HC,FCC,25KF
3MB0-007-000P MPG500 SS,HC,FCC,40KF
3MB0-00Q-000P MPG500 SS,HC,FCC,40CF-F
351-506 MPG500 spare sensor, 25KF, SS
351-555 Spare ion chamber ss
351-550 MxG50x 点火单元
351-995 起辉器

附件

MAG50x
零件号 明细
211-098 细目过滤中心环组件DN 25 ISO-KF
351-550 MxG50x 点火单元
MPG50x
零件号 明细
211-098 细目过滤中心环组件DN 25 ISO-KF
351-550 MxG50x 点火单元

数据表

手册

手册

三维步骤文件