超高真空兼容系统微波等离子源
产品简介
详细信息
应用领域：
试样表面碳污染处理，腔体内壁面清洁，材料表面溅射处理。
作用机理：
(1)物理清洁：为离子轰击，清洁强度取决于离子动能。所有种类的气体均可充入，氩气清洁作用。
(2)化学清洁：氧气充入后产生电离反应，带有化学活性的氧离子可以对表面的污染物进行反应，达到清洁作用。
参数：
材质：不锈钢
供电电压： AC220V
功率： 整机功率不超过150W
工作气压： 5~50Pa
安装接口规格： DN35CF刀口法兰
系统漏率： 5X10-11Pa*M3/S
可烘烤温度：120°C
微波等离子源通气实拍
氧气：
氩气：
氮气：