佳能二手翻新光刻机KrF扫描仪FPA-6300ES6a
产品简介
详细信息
佳能半导体光刻设备，高分辨率/高生产率 KrF 扫描仪FPA-6300ES6a 二手翻新现货
优势特点：
FPA-6300ES6a 扫描仪提供高生产力
通过使用新设计的Reticle& Wafer Stages加速曝光过程，通过改进对齐顺序和减少晶圆处理时间来缩短处理时间。FPA-6300ES6a 的吞吐量超过 200 wph（每小时晶圆），是之前的FPA-6000ES6a型号扫描仪的 1.6 倍。
FPA-6300ES6a 扫描仪实现行业的叠加精度
为了限度地减少曝光期间的重叠错位和场内失真，FPA-6300ES6a采用了*的平台振动和同步控制技术。对准范围也得到改进，以便更准确地测量晶片上的对准标记。
此外，通过精确控制曝光区域和光罩区域的温度，实现了业界的≤5nm的Mix&Match叠加精度。
FPA-6300ES6a 扫描仪提供高可靠性
与早期的 FPA-6000 平台扫描仪相比，FPA-6300ES6a平台在基本耐用性和维护要求方面提供了显着改进，并减少了安装时间并增加了系统正常运行时间和可用性。FPA-6300ES6a选项和升级进一步提高了覆盖精度和生产力，提供可扩展性以支持下一代半导体制造。