化工机械设备网

简介：
 
用于2”4”6”SiC或GaN的高温退火、活化等的特殊工艺。
 
设备特点：
 
◆优化结构设计 占地面积小
 
◆灵活多样的工艺调整
 
◆高温精确控制，的可靠性
 
◆高洁净度，极低维护使用成本
 
配套工艺：
 
◆炉型结构：水平/垂直
 
◆工艺温度可达2200℃（炉体可达更高的温度）
 
◆小批量R&D为5～25片/炉，生产型为50～100片/炉
 
◆常压/压力控制，极限＜10-3mbar，工艺压力：1～250mbar