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ULVAC爱发科二手叶片式溅射设备CERAUS ZX-1000与2011年投入使用，针对于8英寸晶圆使用。

参数规格：

■8英寸规格，7角形芯Ch

■大气侧搬送系2阶段规格

■溅射室（Ti）×2室、ICP、

■本机尺寸：2400W×2200D×1900H

■电源机柜尺寸：1700W×1300D×2000H

加热室

■DC溅射规格

■阴极：磁铁旋转型

■目标尺寸：φ 300ｍｍ

■基板载物台：带静电卡盘

加热板

■工艺气体：Ar、N2

■排气系统：涡轮分子泵＋低温存水弯、干泵

■控制系：PC控制μ Port