AMAT 半导体检测设备 SEMVision G2
产品简介
详细信息
SEMVision G2 的检测组装和处理使微小和浅缺陷的高质量地形图像成为可能。高动态范围检测、背散射电子收集和能量过滤可实现高纵横比成像。
基本信息：
型号：AMAT SEMVision G2 +
描述：缺陷审查系统
晶圆尺寸：300mm
序列号：多个系统可用
保修：按原样或按客户规格翻新
参数规格：
1 KeV 时的分辨率：3 nm
焦点图/焦点偏移：90% 的缺陷，Delta Z < 3 μms
自动缺陷偏移/XY 图：95% 的缺陷 Delta X < 1.5 μm 和 Delta Y < 1.5 μm
EDX 分辨率：4nm
晶圆产量：12 晶圆 / 小时
缺陷吞吐量：>1000 个缺陷/小时
正面清洁度：0.013 PWP / cm2 > 0.2 μm 处的尺寸
基本配置：
带 ULPA 过滤器的 FFU
扫描电镜柱 G2
EDX 柱
45 度立柱倾斜
包括晶圆旋转选项
载物台晶圆支架 3 PIN
对准器光学显微镜 X5、X20、X100
晶圆处理：
装载机：带 RFID 的 AMAT ADO
晶圆尺寸：300mm
ETU 300mm
国际电联 300 毫米
软件信息：
软件版本（WS、IP/ODC SW、MEC、WHC）：v5.1.500 WorkStation SGI FULE
软件版本（EDX）：VTG_5.0.107
系统性能：
Pal (On the OTW, cassette / Slot 1: Delta X= 500 μm; Delta Y= 500 μm
ITU Repeatability: Delta X and Delta Y < 20 μm
Stage accuracy: Delta X and Delta Y < 1.5 μm
MTR: Delta X= 50; Delta Y= 30 μm
其他设施信息：
额定负载电流：8 A
满载电流：10A
中断电流：10,000 安培 IC
电源电压：1-120 VAC，1-Ph，3 线 208 V，3-Ph，5 线，50/60 Hz