化工机械设备网

ASML二手现货ArF光刻机部分信息

-193nm

-轨道预警信号（APR）：APR启用

-避免跟踪输入/输出冲突，在APRs后提高AS：避免跟踪

-已启用输入/输出冲突

-正在关闭的磁盘类型：不存在正在关闭的磁盘

-防止膜过宽或错位的十字线加载的保护措施：

用于干式WSs的禁用连续夹紧晶圆台：不存在

-浸没机卡盘1和2上的晶圆台类型：Zerodur版本1

-晶圆级配置：晶圆级类型2配置

-晶圆载体位置：右侧

-每个载体的晶片数：25

-晶圆轨迹：存在

-晶圆台类型：双卡盘

-下部对接板：存在

-WS天平质量：不锈钢

-WH机器人功率放大器：CPM 20

-晶圆台快速刚性X移动电子设备：存在

-晶圆台反射镜阻挡电子设备：存在

-曝光时的干涉仪轴版本：3加1轴