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二手刻蚀机现货TOKYO OKA/TOK TCE-3822，2011年设备，可对尺寸为5英寸的晶圆进行蚀刻工艺处理。

制造商:TOKYO OKA / TOK

型号:TCE-3822

分类:ETCHERS / ASHERS

年份:2011

设备详细信息:

Etcher, 5"

主体：

(2) Chambers with control rack

KYOSAN MAK5 Matching controller

Leakage detector (WR-NA)

RF Power supply, 1 kW

电源: 200 V, 125 A, 3-Phase, 60 Hz

2011年.