线性压电纳米位移台ML-37A
产品简介
详细信息
压电驱动纳米位移台，使用压电陶瓷作为运动促动元件，可以在数百毫米范围内实现亚纳米级别的最小
步长，从而解决了传统纳米台行程小而微米电动台分辩精度不高的问题。在科研市场、半导体市场、先
进制造业、生物医药行业、光学、通信等行业有广泛应用。
松山湖材料实验室精密仪器研发团队自主研发的压电驱动纳米位移台，具有运动无需润滑，真空兼容，
可在从液氦温区（-269摄氏度）至室温的宽温区内工作等优点。具有步进和扫描双工作模式，在宏观
行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。
线性压电纳米位移台ML-37A，不仅拥有紧凑的安装尺寸，同时还兼具低温真空等应用环境。是小空间
内大行程高精度的定位的优先选择产品。支持定制纳米位移台。
产品优势
结构紧凑，高刚性
零间隙，高精度柔性铰链导向系统
室温到液氦工作温度，超高真空兼容
压电陶瓷促进器具有超长使用寿命
带位移传感器，提供位置和速度闭环控制
产品应用
电子显微镜原位纳米探针台，半导体芯片检测，光刻机工件台，微生物操纵手，光纤焊接，超精密组装，
精密检测与测量。
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