超薄型设备端自带风机过滤机组 PuriFan EFU
产品简介
详细信息
极低挥发物原材料
精选极低挥发性原材料，满足洁净度要求的EFU安装工艺段，如对气态分子污染物控制有要求，可选配PTFE过滤器或者化学过滤器
结构及安装方式
机体结构分立体式、一体式、下拆式
安装:垂直安装、水平安装
低噪音，低震动设计
高效、低能耗直流无刷电机(国产、EBM应对客户不同要求)
高效、低噪叶轮，动平衡等级G2.5
严格的检测流程，保证每台出货产品
专用控制器
单机控制:无通讯时亦可操作
控制显示:控制器可显示基本信息(转速、故障、地址)
系统连接:可无缝接入客户控制系统，实现对EFU的实时“监控”。
历史查询:设置EFU状态LIST，可随意查询任意时间段内的操作及状态记录。
可做成行业标准Modbus RTU
超薄箱体设计
适应空间更广，箱体可至4x4:160mm、2x4:1 10mm
重量轻薄，安装维护方便;
多种材质可供客户选择(不锈钢、铝、镀锌铁)
多样性设计
定制性:根据客户需求制作外形尺寸
灵活性:拆装维护均可从STOCKER及EQ内部完成
稳定性:运转100000H电机轴承无异常
智能性:随意兼容客户系统。全天实时监控
防呆性:配备电源、通讯端子接口，避免接线异常
产品结构图
尺寸示意图
EFU安装示意图
EFU安装在洁净室里，以提高微环境内关键工艺段的洁净度，可水平安装，也可垂直安装
EFU安装在洁净室里，以提高微环境内关键工艺段的洁净度，可水平安装，也可垂直安装
标注尺寸
