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小型快速退火炉应用：

小型快速退火电炉采用红外灯管加热，通过滑动炉体实现快速降温。红外线灯管是填充气体内含有部分卤族元素或卤化物的充气白炽灯。这种红外灯管加热元件是为滑轨炉设计的,升温速率可达到120℃/S。
应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验.

小型快速退火炉特点：

小型快速退火电炉可在真空/气氛/空气等不同环境下通过快速移动炉体，加之强风冷设计，可对样品进行快速升降温处理；管内测温设计，
温控精度高,额定升温速率50℃/s;紧凑的台式设计，快速连接法兰，减少了炉管因安装造成损坏的可能，方便操作。

小型快速退火炉参数：