化工机械设备网

益处

• 测量范围非常广，从 5×10^-10 毫巴至大气压（3.8×10^-10 托至大气压）
• 10^-8 … 10^-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性
• 皮拉尼联锁保护贝阿德-阿尔珀特系统在高压操作下灯丝过早烧毁和过度污染
• 使用寿命长的氧化钇铱丝
• 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
• 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
• RoHS 合规
• 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

典型应用

• 对半导体过程和传输腔室的压力测量
• 工业镀膜
• 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制